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公开(公告)号：CN119042381B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411523556.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种可更换套筒的进气阀，包括阀体，阀体包括上端为进气口、下端为出气口并形成上下数值贯通的主通道和从阀体侧壁穿入主通道的侧进气道，侧进气道与主通道之间交汇处形成侧进气孔，主通道内设置有上下贯通的套筒，套筒从出气孔穿入并贴合设置在主通道内壁上，套筒侧壁开有与侧进气孔匹配的侧孔。本发明通过安装套筒并通过更换套筒来防止主通道内壁的结晶过厚从而影响对半导体的加工，同时设置在套筒内部的活塞刮刀能够进行旋转，从而进一步提高装置对结晶的清除能力。
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公开(公告)号：CN117448953A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311391238.7
申请日：2023-10-25
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种外延设备内部尾气管路的设计方法，所属硅片外延装置技术领域，外延设备内部尾气管路包括尾气收集连接管，尾气收集连接管上端设有连接支架，连接支架与尾气收集连接管间设有尾气过渡输送管，尾气过渡输送管与尾气收集连接管间设有管道加热器，尾气过渡输送管侧边设有尾气排放管道。第一步：通过连接支架将内部尾气管路固定在外延设备上。第二步：由尾气收集连接管连接外延设备使得外延设备排放的尾气经过管道加热器加热。第三步：加热后的尾气采用尾气过渡输送管上的尾气排放管道输送至尾气处理设备。具有结构紧凑、效果好、运行稳定性好和安全可靠性强的特点。不容易液化产生结晶附着在管壁内部，降低管路堵塞造成的安全隐患。
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公开(公告)号：CN119565983A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202510000548.4
申请日：2025-01-02
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置及其使用方法，包括：沿水平方向依次由上至下设置的三个储物隔板、分别位于储物隔板两侧的两个垂直支撑板以及位于储物隔板、垂直支撑板后方的固定板，每个所述储物隔板的两侧与垂直支撑板一体成型设置，每个所述储物隔板的后端以及垂直支撑板的后端与固定板一体成型设置，所述储物隔板、垂直支撑板及固定板上均设置有多个均匀分布的孔洞，通过三个储物隔板上的孔洞设有沿水平方向固定待清洗的升降轴、下圆顶及上圆顶石英部件的定位组件，储物隔板、垂直支撑板及固定板上设置的多个均匀分布的孔洞，不仅减轻了装置的重量，还在湿洗过程中极大地促进了清洗槽中的化学清洗液流通，提高清洗效率。
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公开(公告)号：CN119056792A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411523558.8
申请日：2024-10-30
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种石英硅多级清洗工艺，涉及石英管清洗技术领域，其步骤包括：将石英管放入纳米气泡清洗槽中，配合喷淋设备组，在纳米气泡清洗槽槽内注满去离子水，启动纳米气泡生成器；立即转入超声波清洗槽，启动超声波清洗槽；酸液清洗后进入喷淋清洗区a；石英管经过喷淋清洗区a后，通过控制臂进入化学清洗槽；化学清洗后的石英管通过控制臂进入喷淋清洗区b；石英管离开喷淋清洗区b后，清洗控制中心对所在石英管表面检测，石英管表面和尺寸均符合要求列为合格品，进入下一步骤，否则返回步骤一或者列入残次品；在表面检测合格后，石英管进入氮气吹干装置，随后通过红外灯干燥；干燥完成后，石英管通过传送带进入真空包装机。
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公开(公告)号：CN119042381A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411523556.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种可更换套筒的进气阀，包括阀体，阀体包括上端为进气口、下端为出气口并形成上下数值贯通的主通道和从阀体侧壁穿入主通道的侧进气道，侧进气道与主通道之间交汇处形成侧进气孔，主通道内设置有上下贯通的套筒，套筒从出气孔穿入并贴合设置在主通道内壁上，套筒侧壁开有与侧进气孔匹配的侧孔。本发明通过安装套筒并通过更换套筒来防止主通道内壁的结晶过厚从而影响对半导体的加工，同时设置在套筒内部的活塞刮刀能够进行旋转，从而进一步提高装置对结晶的清除能力。
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