汽车微机电系统ASIC芯片的保护电路及微机电系统

    公开(公告)号:CN117748432A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311791552.4

    申请日:2023-12-25

    IPC分类号: H02H9/02 H02H9/04 H02H7/20

    摘要: 本发明提供汽车微机电系统ASIC芯片的保护电路及微机电系统,属于汽车电子MEMS技术领域。该电路包括:第一保护模块。电容单元的第一端作为第一保护模块的输入端,用于接收ASIC芯片端口的静电。电容单元用于在接收到静电后控制第一NMOS晶体管的漏源导通,并通过接地的第二电阻泄放静电。第二NMOS晶体管用于在第一NMOS晶体管的漏源导通后,基于第一NMOS晶体管的源端电压控制寄生三极管的基极,导通寄生三极管、形成泄放通道。本发明在传统GGNMOS结构的第一NMOS晶体管导通之后,通过衬底驱动的第二NMOS晶体管以形成寄生三极管导通泄放通道,增强了对大电流静电的泄放能力。

    用于惯性传感器标定的电路、惯性传感器封装及标定方法

    公开(公告)号:CN117606517A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202410085539.5

    申请日:2024-01-22

    IPC分类号: G01C25/00 B81B7/00

    摘要: 本发明涉及惯性传感器集成电路标定技术领域,尤其涉及一种用于惯性传感器标定的电路、惯性传感器封装及标定方法,本发明用于惯性传感器标定的电路主要为数据累加模块的累加器和相应的计数器、数据比较电路、系数进行调整操作的逻辑,以及存储多个系数计算结果的寄存器、数据选择器和相关控制电路等,硬件资源投入少。本发明由于采用了多个数据求和与右移的方式确定零偏和标度,不需要除法的浮点运算,无需设置硬件除法电路,并通过优化标定电路与传感器信号链复用部分逻辑电路,匹配设计标定方法,实现硬件开销小、计算延时小的惯性传感器快速标定。

    电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路

    公开(公告)号:CN106017466B

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201610559162.8

    申请日:2016-07-15

    发明人: 刘德盟 任臣

    IPC分类号: G01C21/16

    摘要: 本发明公开了一种电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,包括输入共模反馈模块、第一放大模块和第二放大模块;输入共模反馈模块的反相输入端和反馈输出端与电容型MEMS惯性传感器的输出端和第一放大模块的输入端电连接,输入共模反馈模块的正相输入端接地;第一放大模块的输出端与第二放大模块的输入端电连接;第一放大模块还与第一复位信号输入端连接,第二放大模块还与第二复位信号输入端连接;在第一复位信号输入端停止输入第一复位信号预设时间后,第二复位信号输入端再停止输入第二复位信号。上述电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,检测准确性高、噪声低且转换精度高。

    一种用于MEMS加速度计的带宽调节装置

    公开(公告)号:CN117929781A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202410098736.0

    申请日:2024-01-24

    IPC分类号: G01P15/02 G01P1/00

    摘要: 本发明提供了一种用于MEMS加速度计的带宽调节装置,属于MEMS加速度计的技术领域,其中MEMS加速度计包括依次连接设置的盖板层、结构层、布线层和衬底层,结构层与布线层之间具有空隙;带宽调节装置包括位于结构层和布线层之间的若干调节块,调节块均固定在布线层上,调节块端面高于布线层朝向结构层的表面,若干调节块在布线层上均匀分布。本发明通过在结构层与布线层之间增加一层调节块,使结构层可动结构与布线层发生平行的位移时,气体会产生剪切变形,从而形成滑膜阻尼,实现加速度计带宽特性的调节,在不影响加速度计性能的前提下,节约了芯片面积,从而减低了成本。

    用于惯性传感器标定的电路、惯性传感器封装及标定方法

    公开(公告)号:CN117606517B

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202410085539.5

    申请日:2024-01-22

    IPC分类号: G01C25/00 B81B7/00

    摘要: 本发明涉及惯性传感器集成电路标定技术领域,尤其涉及一种用于惯性传感器标定的电路、惯性传感器封装及标定方法,本发明用于惯性传感器标定的电路主要为数据累加模块的累加器和相应的计数器、数据比较电路、系数进行调整操作的逻辑,以及存储多个系数计算结果的寄存器、数据选择器和相关控制电路等,硬件资源投入少。本发明由于采用了多个数据求和与右移的方式确定零偏和标度,不需要除法的浮点运算,无需设置硬件除法电路,并通过优化标定电路与传感器信号链复用部分逻辑电路,匹配设计标定方法,实现硬件开销小、计算延时小的惯性传感器快速标定。

    电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路

    公开(公告)号:CN106017466A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610559162.8

    申请日:2016-07-15

    发明人: 刘德盟 任臣

    IPC分类号: G01C21/16

    CPC分类号: G01C21/16

    摘要: 本发明公开了一种电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,包括输入共模反馈模块、第一放大模块和第二放大模块;输入共模反馈模块的反相输入端和反馈输出端与电容型MEMS惯性传感器的输出端和第一放大模块的输入端电连接,输入共模反馈模块的正相输入端接地;第一放大模块的输出端与第二放大模块的输入端电连接;第一放大模块还与第一复位信号输入端连接,第二放大模块还与第二复位信号输入端连接;在第一复位信号输入端停止输入第一复位信号预设时间后,第二复位信号输入端再停止输入第二复位信号。上述电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,检测准确性高、噪声低且转换精度高。

    基于FPGA的MEMS传感器仿真系统及方法

    公开(公告)号:CN117787180A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202410007002.7

    申请日:2024-01-03

    IPC分类号: G06F30/38 G06F30/34

    摘要: 本申请适用于MEMS传感器开发和调试技术领域,提供了基于FPGA的MEMS传感器仿真系统及方法,该MEMS传感器仿真系统包括:模数转换器、FPGA模块和数模转换器;模数转换器,用于将接收到的ASIC的输出模拟信号转换为第一数字信号,并传输至FPGA模块;FPGA模块,用于基于预设传递函数、第一数字信号和目标量的预设值,生成第二数字信号,并传输至数模转换器;数模转换器,用于将第二数字信号转换为输入模拟信号,并传输至ASIC;ASIC基于输入模拟信号,确定目标量的测量值。本申请中的MEMS传感器仿真系统可对已有的ASIC进行调试,有助于分析和验证目标MEMS传感器参数变化对特定ASIC的影响。

    MEMS芯片的圆片测试系统及方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117686883A

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202311708460.5

    申请日:2023-12-12

    IPC分类号: G01R31/28 B81C1/00

    摘要: 本发明提供一种MEMS芯片的圆片测试系统及方法。该系统包括探针台、多芯片探卡、开关矩阵和多个测试模块;探针台用于放置被测圆片,其中,被测圆片上设有多个芯片,每个芯片上设置有多个测试点;多芯片探卡设置在探针台上,多芯片探卡内设置有多个探针,其中,一个探针连接被测圆片上的一个测试点;多芯片探卡通过开关矩阵连接测试模块,其中,同一芯片对应的多个探针与一个测试模块对应连接;测试模块用于对对应的芯片进行测试。本发明能够减少测试时间,提高圆片的测试效率。

    一种汽车安全气囊用微机械加速度检测结构

    公开(公告)号:CN117092368A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202311058752.9

    申请日:2023-08-22

    IPC分类号: G01P15/08 G01P15/125

    摘要: 本发明提供了一种汽车安全气囊用微机械加速度检测结构,属于加速度检测技术领域,包括基板、活动质量块框架和盖板,活动质量块框架水平设置于基板与盖板之间;活动质量块框架设有四个象限框,象限框内沿长度方向设置有活动质量块锚点,活动质量块锚点设有与象限框连接的支撑部,活动质量块锚点的下端固定在基板上;活动质量块框架内侧的中部具备多个活动梳齿,相邻活动梳齿之间设有固定检测梳齿,固定检测梳齿上设有固定梳齿锚点,固定梳齿锚点的下端固定在基板上,固定检测梳齿与活动梳齿之间形成差分电容检测间隙。本发明提供的一种汽车安全气囊用微机械加速度检测结构,采用了全新的框架式结构和布局形式,极大的提升加速度计的可靠性。