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公开(公告)号：CN109991286A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910367558.6
申请日：2019-05-05
Applicant: 河北工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明为一种铝掺杂氧化钨基的双选择性气敏传感器的制备方法。该方法利用磁控溅射法，将W靶溅射功率调至95‑110W，打开基片旋转控制开关，打开基片挡板，通氧溅射WO3薄膜，20min后，关闭氧气；将Al靶溅射功率调至40‑42W，溅射Al薄膜6‑10min；再通氧溅射WO3薄膜20min；制备出A‑B‑A三明治结构的薄膜。本发明的气敏传感器在不同工作温度下分别对甲醇与乙醇蒸汽有高选择性、高灵敏度和较短的响应‑恢复时间的优点。
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公开(公告)号：CN105342036A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510867677.X
申请日：2015-11-25
Applicant: 河北工业大学
IPC: A41D13/11 , A41D13/005
CPC classification number: A41D13/11 , A41D13/0051 , A41D2400/10
Abstract: 本发明涉及一种防雾霾加热口罩，该口罩适用于寒冷雾霾天气佩戴。主要包括三部分组成：过滤加热部件、管道、呼吸部件。过滤部件中内置过滤网、螺旋风扇组件和加热组件，通过螺旋风扇将空气吸入过滤部件，通过过滤网过滤后，将净化后的空气通过加热组件加热，通过管道导入呼吸部件，送到人体口鼻处。呼吸部件分为内外两层，内层上有均匀分布的出气口，外层由透气材料制成，两侧有与头部固定的绳、带或搭扣等。有效解决了普通人群的佩戴口罩憋闷感以及寒冷不适感等问题。
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公开(公告)号：CN119243160A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411218205.7
申请日：2024-09-02
Applicant: 河北工业大学
IPC: C23F3/04
Abstract: 本发明公开了一种新型碱性铜CMP抛光液及其制备方法，涉及抛光液技术领域，包括磨料、pH调节剂、络合剂、氧化剂、复合抑制剂、润滑剂和去离子水，所述磨料为SiO2，所述pH调节剂为氢氧化钾溶液，所述复合抑制剂包括十二烷基苯磺酸和2‑氨基苯并咪唑，所述润滑剂包括多壁碳纳米管；本发明抛光液能有效调控去除速率并大幅提升表面质量；本申请中抛光液添加了MWCNTs作为润滑剂，有效减少了磨料对铜表面的划伤；本申请抛光液为碱性抛光液，对设备与操作人员友好；本申请抛光液使用的抑制剂DBSA与2‑ABI无毒无害、易溶于水，能在铜表面附着一层致密的钝化膜，有效的阻止了抛光液对铜表面的腐蚀。
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公开(公告)号：CN119242179A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411175197.2
申请日：2024-08-26
Applicant: 河北工业大学
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明公开了一种绿色环保高效蓝宝石抛光液，涉及抛光液技术领域，包括磨料、pH调节剂、表面活性剂和去离子水，磨料为胶体SiO2，pH调节剂为精氨酸溶液，表面活性剂为十二烷基硫酸铵，其余成分为去离子水；本发明抛光液绿色环保、成分中不含金属离子，有机碱精氨酸不仅能作为碱性pH调节剂，还可以发挥络合剂的作用，本发明设置的阴离子表面活性剂十二烷基硫酸铵不仅能够提升蓝宝石抛后的表面质量，还能够有效提升抛光液的稳定性，防止磨料团聚，使抛光液能够长时间保存，本发明设置的抛光液对C、A、R三种晶面的蓝宝石都有很好的CMP效果，材料去除速率和表面质量都得到了很大的提升。
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公开(公告)号：CN118248856A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410370634.X
申请日：2024-03-29
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于单层MoB MBene与1T‑MoS2复合的水系锌离子电池的正极材料制备方法。该制备方法包括：将MoB MBene进行超声处理得到单层MoB MBene，再将它与MoO3、尿素和硫代乙酰胺混合置于高压釜中在200℃下反应12h，然后无水乙醇和蒸馏水洗涤，冷冻干燥即得。为进一步提高性能，将材料在低温下加入苯胺、盐酸和过硫酸铵，反应12h，可在材料上包覆一层聚苯胺，其作用是增强材料结构的稳定性。本发明以单层MoB MBene为骨架，在外原位生长1T‑MoS2，使得制备的电极材料有着优异的电子导电性和良好的结构稳定性，包覆的聚苯胺进一步保证材料在充放电时的循环稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116179085A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202211568712.4
申请日：2022-12-08
Applicant: 河北工业大学
IPC: C09G1/02 , C11D1/88 , C11D3/33 , C11D3/04 , C11D3/12 , C11D3/32 , C11D3/28 , C11D3/22 , C11D3/34 , C11D3/60 , B08B3/08 , C23F11/14 , H01L21/306
Abstract: 本发明为一种硅通孔钽阻挡层碱性化学机械抛光液。该抛光液的组成包括纳米二氧化硅、钽的络合剂、组氨酸、月桂烷基二羟乙基氧化胺、过氧化氢、去离子水；抛光液pH值为8‑10；其中，各组分所占抛光液的质量百分比分比为：3‑6％的纳米二氧化硅、0.01‑1％的组氨酸与月桂烷基二羟乙基氧化胺复配物、0.5‑1％过氧化氢、1‑3％的钽的络合剂；质量比为，组氨酸：月桂烷基二羟乙基氧化胺＝5：1～10：1。本发明可以有效降低晶圆表面张力，消除晶圆的有机沾污，并且绿色环保，简化抛光液的制备工艺。
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公开(公告)号：CN109991286B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201910367558.6
申请日：2019-05-05
Applicant: 河北工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明为一种铝掺杂氧化钨基的双选择性气敏传感器的制备方法。该方法利用磁控溅射法，将W靶溅射功率调至95‑110W，打开基片旋转控制开关，打开基片挡板，通氧溅射WO3薄膜，20min后，关闭氧气；将Al靶溅射功率调至40‑42W，溅射Al薄膜6‑10min；再通氧溅射WO3薄膜20min；制备出A‑B‑A三明治结构的薄膜。本发明的气敏传感器在不同工作温度下分别对甲醇与乙醇蒸汽有高选择性、高灵敏度和较短的响应‑恢复时间的优点。
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公开(公告)号：CN110983340A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911030140.2
申请日：2019-10-28
Applicant: 河北工业大学
IPC: C23F3/04
Abstract: 本发明公开了一种低技术节点铜布线用铜膜碱性抛光液，由下述组分，按重量百分比计，SiO2粒径70～90nm的10～30％硅溶胶0.1～1％，甘氨酸1～3％，过氧化氢0.1～0.5％，脂肪醇聚氧乙烯醚0.1～0.5％，壳聚糖0.005～0.05％，氢氧化钾0.1～5％加入去离子水制得的pH值为9.5～10.5的碱性分散液体。本发明低技术节点铜布线用铜膜碱性抛光液具有铜膜材料去除速率快、钴或钌阻挡层材料去除速率慢、抛光后铜表面粗糙度低且成本低廉、使用安全的特点。
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公开(公告)号：CN106006848A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610399154.1
申请日：2016-06-06
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明蓝宝石晶体抛光废液的处理方法,涉及废水的处理，步骤是：设置电化学处理装置，主要包括一个化学处理槽、阳极、阴极和直流电源；调节蓝宝石晶体抛光废液的初始pH值为6～12；电化学处理，控制直流电源电压在10～40V范围内，电流在0.5A以上；后处理，收集得到的沉淀物用于制作硅酸盐材料，液体则重新应用于蓝宝石晶体抛光工艺。本发明方法克服了现有技术中存在的二次污染，运行周期长，处理成本高等缺点。
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公开(公告)号：CN104449403A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410779195.4
申请日：2014-12-16
Applicant: 河北工业大学
IPC: C09G1/02 , H01L21/306
CPC classification number: C09G1/02 , H01L21/02013
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液,其主要组成成分按重量％计，包括重量浓度2-50wt％以及粒径15-150nm的纳米SiO2水溶胶10-50％、活性剂0.05-1％，螯合剂0.1-1％，pH调节剂0.1-2％，pH调节剂为无机碱和有机碱的混合物构成复合碱。循环使用步骤为，抛光液流量100g/min-300g/min，抛光压力0-0.2MPa，抛光转速40-60rpm，抛光温度30-40℃。有益效果：抛光液采用复合碱的形式，无机碱的强碱性可有效提高抛光去除速率，有机碱通过不断释放羟基保障抛光液pH的稳定性，保障循环抛光过程中抛光液的化学作用,解决了抛光速率低、效率低的技术问题。
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