光调制器像素单元及其制作方法

    公开(公告)号:CN102338931A

    公开(公告)日:2012-02-01

    申请号:CN201010230027.1

    申请日:2010-07-15

    CPC classification number: G02B26/001 G02B26/02 G02B26/0808 Y10T29/49117

    Abstract: 本发明提供了一种光调制器像素单元,包括底部电极、可动电极、顶部电极,在控制电路控制下,所述可动电极的位置会发生偏移,分别位于第一位置、第二位置和第三位置,当可动电极位于第一位置时,入射至光调制器像素单元的第一光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线发生相消干涉;可动电极位于第二位置和第三位置分别对第二光线和第三光线进行调制原理与可动电极位于第一位置对第一光线的调制原理相同。所述第一光线、第二光线、第三光线分别为三种特定波长范围的单色光。本发明的光调制器像素单元能够分时控制三种特定波长的单色光,实现色彩控制和灰度控制,适用于投影显示以及平板系统。

    微机电麦克风及其制造方法

    公开(公告)号:CN102348155A

    公开(公告)日:2012-02-08

    申请号:CN201010244213.0

    申请日:2010-07-30

    Inventor: 毛剑宏 唐德明

    Abstract: 本发明提供了微机电麦克风及其制作方法,所述微机电麦克风包括:形成于半导体基片一侧表面,暴露于外界环境中,能够感应由声波产生的压力而自由振动的振膜;位于振膜底部,且具有导气孔的电极板;固定所述振膜以及电极板的隔离结构;位于振膜以及电极板之间的气隙空腔以及位于电极板底部半导体基片内的背腔;所述气隙空腔与背腔通过电极板的导气孔连通;还包括形成于所述半导体基片同侧表面,且呈开放式的第二空腔;所述背腔与第二空腔通过形成于半导体基片内的导气槽连通。本发明所述微机电麦克风形成于半导体基片一侧表面,制造方法与CMOS工艺相兼容,易于器件微缩并集成至半导体芯片中。

    陀螺仪及其制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102278981A

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN201010200715.3

    申请日:2010-06-11

    CPC classification number: G01C19/04 G01C19/5712 Y10T74/1282 Y10T74/1296

    Abstract: 本发明提供了一种陀螺仪及其制造方法,该陀螺仪包括:衬底,衬底内具有底层驱动电极和位于底层驱动电极外围的底层测量电极;位于衬底上的介质层,在介质层中具有封闭的空腔;所述空腔内包括:位于衬底上的中心轴;置于衬底上且能围绕中心轴旋转的支撑环;位于支撑环外围且与支撑环共中心轴的质量环;连接支撑环和质量环且支撑所述质量环悬置于所述空腔内的悬臂;位于支撑环、质量环和相邻两悬壁之间区域内的弹性部件;覆盖支撑环、质量环、悬臂和弹性部件的顶层驱动电极;连接弹性部件上顶层驱动电极与底层驱动电极的导电插塞;所述质量环包括绝缘层及位于绝缘层下的重量层。该陀螺仪的稳定性和性能得到较大提高。

    微机电装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN102275857A

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN201010200714.9

    申请日:2010-06-11

    Abstract: 本发明提供了一种微机电装置及其制造方法,该装置包括微机电器件,所述微机电器件包括:主体和可动电极,所述可动电极通过固定件和所述主体活动连接,所述主体内具有固定电极,所述可动电极可以相对于所述固定电极移动;所述主体中具有凹槽;所述可动电极悬置于所述凹槽内;在凹槽上方和在所述主体上具有第一介质层,所述第一介质层将所述凹槽围成封闭空间,所述可动电极通过所述固定件悬置在所述封闭空间内,在所述凹槽上方的第一介质层中具有通孔,所述通孔内填充有第二介质层,从而可以对微机电器件进行有效的封装。

    电荷泵
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201682416U

    公开(公告)日:2010-12-22

    申请号:CN201020153156.0

    申请日:2010-04-02

    Inventor: 张镭 唐德明

    CPC classification number: H02M3/07

    Abstract: 一种电荷泵,包括:第一电压输入端、第二电压输入端、电压输出端、至少一快速电容、储能电容、由控制信号控制的第一组MEMS开关、第二组MEMS开关和第三组MEMS开关,快速电容通过第一组MEMS开关与第一和第二电压输入端连接,并通过第二组MEMS开关与第一或第二电压输入端连接;储能电容通过第三组MEMS开关与快速电容连接,并连接电压输出端,储能电容还与第二电压输入端连接;在控制信号控制第一组MEMS开关闭合、第二、三组MEMS开关断开时,快速电容通过第一、第二电压输入端充电;在控制信号控制第一组MEMS开关断开、第二、三组MEMS开关闭合时,储能电容通过快速电容和第二电压输入端充电。实现电荷泵的小型化和高度集成化,提高能量转化效率,减小功耗。

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