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公开(公告)号：CN118486648A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410708974.9
申请日：2024-06-03
Applicant: 武汉大学
IPC: H01L21/768 , H01L23/48
Abstract: 本申请属于半导体制造封装技术领域，具体公开了一种基于混合键合的背面供电芯片结构及其制备方法，制备方法包括：制备第一半导体结构，其自下而上至少包括：第一晶圆、埋入式电源轨、器件层以及信号互连层；第一晶圆中设置有贯穿的第一组TSV，且第一组TSV中填充有导电金属柱；制备第二半导体结构，自下而上至少包括：第二晶圆和供电网络层；使用混合键合工艺将第一和第二半导体结构进行键合，实现结构和电学连接，完成背面供电芯片制造。通过本申请，采用两块晶圆制备背面供电的芯片结构，在一块晶圆上制备芯片结构，另一块晶圆上制备背面供电结构；两块晶圆可以采用不同工艺制程制造相应结构，提高芯片的工艺灵活性、制备效率且有效降低成本。
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公开(公告)号：CN118588637A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410708976.8
申请日：2024-06-03
Applicant: 武汉大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 本申请属于半导体制造封装技术领域，具体公开了一种基于混合键合的背面供电芯片结构的制备方法及芯片结构，制备方法包括：制备第一半导体结构的第一部分：在第一晶圆上依次至少制备埋入式电源轨、器件层以及信号互连层；制备第一半导体结构的第二部分：在第一晶圆中制备贯穿的第一组硅通孔TSV，且在第一组TSV中填充导电金属柱；制备第二半导体结构；第二半导体结构自下而上至少包括：第二晶圆和供电网络层；使用混合键合工艺将第一半导体结构和第二半导体结构进行键合。通过本申请，提高背面供电芯片的工艺灵活性、制备效率且有效降低成本。
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公开(公告)号：CN113944148A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111271290.X
申请日：2021-10-29
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及一种船用浮游植物打捞装置，包括支架系统、收集系统、脱水系统和支撑系统；支架系统包括钢架以及两侧挡板；收集系统包括收集装置与连杆装置，其中收集系统包括滚叉和底板，滚叉将浮游植物进行打捞并在运动过程中与底板相配合将浮游植物留在底板上等待运输，连杆装置将浮游植物运输到脱水系统；脱水系统通过基座安装在支架后半段用于对对浮游植物进行挤压脱水，同时将浮游植物运输至末端落入船舱；支撑系统实现整体装置的固定及角度调整。本发明利用连杆机构与传送带滚筒对浮游植物进行两级脱水与运输，可有效提高浮游植物打捞运输量；同时整体装置可便携拆卸，可安装在不同船只上进行跨水域作业，设备购置以及运输成本低。
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公开(公告)号：CN117316837A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311615234.2
申请日：2023-11-29
Applicant: 武汉大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , G06F30/20 , G06F17/18 , G06F17/11 , G06F119/04 , G06F119/14
Abstract: 本发明提出了晶圆混合键合工艺的真空互联设备及数字孪生系统，包括第一真空腔，其内设置若干第一腔室；第二真空腔，其真空度高于第一真空腔且其内设置若干第二腔室；缓冲腔，连通在第一真空腔与第二真空腔之间；转运设备，设置在真空互联设备内并将晶圆及芯粒在各腔室之间进行转运；第一腔室及第二腔室内按照晶圆混合键合工艺各工序顺序依次安装有对应工序的设备仪器；提供了用于混合键合工艺的真空互联环境，将混合键合各工序所需设备整合，通过自动化的转运设备对晶圆进行转移及调控，并根据不同工艺所需加工时间不同对晶圆加工；还能同时进行晶圆与晶圆以及晶圆与芯粒的混合键合，提高混合键合效率并提升产品的适用性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116832347B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202310864969.2
申请日：2023-07-14
Applicant: 武汉大学 , 迈胜医疗设备有限公司
IPC: A61N5/10
Abstract: 本发明提供一种基于数字孪生的放射治疗转运系统及放射治疗方法，包括质子放射治疗场地、质子放射治疗装置、传感器系统、数字孪生模型、数据监控系统和操作系统，质子放射治疗场地包括至少一个治疗室、多个医疗准备室和一个医疗操作室，质子放射治疗装置包括转运设备和质子治疗系统，传感器系统包括多个传感器，数字孪生模型用于将质子放射治疗场地及质子放射治疗装置的物理模型和传感器转化为数字孪生体，数据监控系统用于反映数字孪生体和实际质子放射治疗装置的偏差，操作系统用于控制转运设备工作。本发明能够优化质子放射治疗流程，利用高精度传感器结合数字孪生模型实现患者稳定、高精度的转运与治疗，通过多室转运系统提高治疗效率。
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公开(公告)号：CN113931150A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111299356.6
申请日：2021-11-04
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及一种船用水生植物打捞装置，其包括打捞架、打捞滚叉、姿态控制结构、清除结构、除水结构以及刮除结构。本发明中利用霍肯连杆及打捞滚叉的动作间隙实现搅除打捞、清除、压除水分、归中收集四个动作的逐次衔接，从而完成对水生植物的一体化打捞、收集。本发明提供的装置具有便携、易拆卸的特点，其可安装于不同大小的配套船只上进行跨水域打捞作业，设备整体购置及运输费用低，易于大面积推广应用。
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公开(公告)号：CN113944148B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202111271290.X
申请日：2021-10-29
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及一种船用浮游植物打捞装置，包括支架系统、收集系统、脱水系统和支撑系统；支架系统包括钢架以及两侧挡板；收集系统包括收集装置与连杆装置，其中收集系统包括滚叉和底板，滚叉将浮游植物进行打捞并在运动过程中与底板相配合将浮游植物留在底板上等待运输，连杆装置将浮游植物运输到脱水系统；脱水系统通过基座安装在支架后半段用于对对浮游植物进行挤压脱水，同时将浮游植物运输至末端落入船舱；支撑系统实现整体装置的固定及角度调整。本发明利用连杆机构与传送带滚筒对浮游植物进行两级脱水与运输，可有效提高浮游植物打捞运输量；同时整体装置可便携拆卸，可安装在不同船只上进行跨水域作业，设备购置以及运输成本低。
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