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公开(公告)号：CN116641028A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310386885.2
申请日：2023-04-12
申请人： 核工业西南物理研究院 , 中核同创(成都)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法，包括真空室；柱状阴极弧源，置于管状工件内部，与管状工件一起固定连接于真空室顶部；加热系统，装配于真空室上，用于对管状工件进行加热；阴极弧电源，连接于柱状阴极弧源以形成回路；电抗器，串联接入柱状阴极弧源与阴极弧电源、真空室形成的回路中；非对称双极性脉冲偏压电源，作为工件偏压具有输出电极A和输出电极B，输出电极A、B分别连接管状工件、真空室。采用电抗器的稳弧作用，再结合非对称双极性脉冲偏压电源的正、负脉冲周期性输出特性，解决半封闭环境中阴极弧源放电的“阳极消失”问题，实现内置式柱状阴极弧源长期稳定工作，工艺简单稳定，设备结构简单，镀膜效率高。
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公开(公告)号：CN108611590B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201611145210.5
申请日：2016-12-13
申请人： 核工业西南物理研究院 , 成都同创材料表面新技术工程中心
摘要： 本发明属于低温等离子体材料表面处理技术领域，具体涉及一种Ti合金工件防咬死的方法。本方法包括九个步骤，本方法实现Ti合金工件烘烤除气、离子束溅射清洗和原位离子束辅助磁控溅射沉积Ti‑TiN周期复合涂层的制备工艺，以得到均匀致密、结合性能良好的Ti‑TiN周期复合涂层。提高工件耐磨、抗疲劳和微动磨损等性能，达到防咬死和耐磨的要求。在Ti合金紧固件内螺纹表面制备的Ti‑TiN周期复合涂层，纯度高、膜基结合性能好、膜层均匀致密、界面处无孔隙，处理后的Ti合金紧固件达到耐磨、防咬死、抗微动磨损等要求，防咬死性能较未处理工件至少提高了2倍，满足某型号装备使用要求，大大降低了成本，提高了装备的整体使用稳定性和使用寿命。
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公开(公告)号：CN102094173A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200910250282.X
申请日：2009-12-11
申请人： 核工业西南物理研究院
摘要： 本发明所提供的原位等离子体涂镀Ti/Cu复合涂层工艺属于低温等离子体材料表面处理技术领域。通过原位等离子体沉积技术在基体表面制备符合技术要求的Ti/Cu复合膜层。本工艺主要包括：待处理工件化学清洗；工件烘烤除气；辉光清洗；复合涂层制备等处理步骤。通过本发明，在工件表面沉积的复合涂层纯度高，表面光洁度好(Ra＜1.6μm)，涂层均匀致密，界面处无孔隙，膜/基结合牢固，符合相关工艺要求。本发明可用于包括聚变堆面对等离子体第一壁材料的复合涂层制备。
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公开(公告)号：CN103903931B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201210575282.9
申请日：2012-12-26
申请人： 核工业西南物理研究院
摘要： 本发明属于一种辉光放电电极，具体公开一种嵌入式辉光放电电极，该电极包括真空法兰、真空电引线、设置在真空电引线真空侧一端的电极头和屏蔽罩，电极头位于屏蔽罩内；屏蔽罩的一侧套在真空电引线的真空侧，屏蔽罩的另一侧敞口。本发明的嵌入辉光放电电极可避免氘氚等离子体直接辐照，具有较低的漏水风险，满足热核聚变实验堆的安全性和可靠性。
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公开(公告)号：CN103903930A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210574543.5
申请日：2012-12-26
申请人： 核工业西南物理研究院
IPC分类号： H01J1/02
摘要： 本发明一种辉光放电电极，具体公开一种具有缝隙电绝缘结构的辉光放电电极，该电极包括真空引线、设置在真空引线一端的电极、套在真空引线和电极外的和屏蔽罩其中，所述的屏蔽罩与真空引线之间设有绝缘子，电极、真空引线与屏蔽罩之间均形成缝隙；所述的缝隙的间距为5～20mm，绝缘子远离电极的头部，绝缘子为纯度大于等于的Al2O3陶瓷材料。本发明的电极结构简单；具有良好的电绝缘性能和耐中子辐照性能；同时能够避免对周围系统产生寄生放电和射频干扰；无需定期维修，或延长定期维修间隔时间，满足聚变实验堆对回光放电电极的安全性和可靠性要求；该电极既适用于聚变实验堆，也适用于有特殊要求的超高真空装置的辉光放电电极。
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公开(公告)号：CN102254775B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201110076856.3
申请日：2011-03-29
申请人： 核工业西南物理研究院
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/14 , H01J37/02 , H01J37/248
摘要： 本发明属于离子束技术领域，具体地说是一种适用于离子束清洗，离子束刻蚀和离子束辅助沉积的磁场增强型线性离子源。包括阴极顶板、阴极外框、中央磁钢、外围磁钢、气路、水冷阳极和绝缘支柱。离子束引出口由构成阴极顶板的阴极顶板外环和阴极顶板内环之间开设的环状槽构成；中央磁钢和外围磁钢分别设在阴极外框内部的中间和外围，阴极顶板、阴极外框、中央磁钢和外围磁钢形成一个封闭的环形放电槽，阳极通过绝缘支柱支撑在环形放电槽中，位于环状离子束引出口下方，阳极上表面与离子引出口距离在5mm以上。本发明提高了离子源引出束流密度，可稳定工作于高电压小电流和低电压大电流两种工作模式、使用寿命长，并在恶劣的镀膜环境下能长时间正常工作。
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公开(公告)号：CN117783415A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311815942.0
申请日：2023-12-27
申请人： 核工业西南物理研究院 , 中核同创(成都)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种高频燃气流烧蚀试验装置，涉及机械装备制造领域，包括高频转动系统和点火推进系统；所述高频转动系统包括第一驱动电机以及试样架，所述试样架上带有转动连接的固定盘，所述固定盘平放设置，所述第一驱动电机和所述固定盘一端连接，并用于驱动所述固定盘绕自身中线旋转；所述固定盘另一端的偏心位置处带有样品夹持区；所述点火推进系统包括移动组件和点火装置，所述点火装置设置于所述移动组件上，所述移动组件用于带动所述点火装置移动；所述点火装置的火焰喷嘴用于对准所述样品夹持区进行烧蚀，采用本方案，通过旋转过程中的周期性高频次冲刷，为炮筒等需经受高频燃气流烧蚀的部件展开环境模拟试验。
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公开(公告)号：CN103903931A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210575282.9
申请日：2012-12-26
申请人： 核工业西南物理研究院
摘要： 本发明属于一种辉光放电电极，具体公开一种嵌入式辉光放电电极，该电极包括真空法兰、真空电引线、设置在真空电引线真空侧一端的电极头和屏蔽罩，电极头位于屏蔽罩内；屏蔽罩的一侧套在真空电引线的真空侧，屏蔽罩的另一侧敞口。本发明的嵌入辉光放电电极可避免氘氚等离子体直接辐照，具有较低的漏水风险，满足热核聚变实验堆的安全性和可靠性。
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公开(公告)号：CN109972089A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201711452179.4
申请日：2017-12-28
申请人： 核工业西南物理研究院 , 成都同创材料表面科技有限公司
摘要： 本发明属于低温等离子体材料表面处理技术，具体为一种超厚含氢类金刚石涂层的制备方法，工件表面清洗除气之后，再进行等离子体清洗，依次沉积金属中间层、金属碳化物中间层和类金刚石涂层，类金刚石涂层分18层依次沉积，沉积方式为磁控溅射，金属磁控靶材为钛、铬、钨和钼金属靶材，通过本方法制备的类金刚石涂层致密、摩擦系数低、耐腐蚀性能优异、膜基结合强度高，厚度大于100μm，适合高精度抛光等光学元件部件。
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公开(公告)号：CN103903930B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201210574543.5
申请日：2012-12-26
申请人： 核工业西南物理研究院
IPC分类号： H01J1/02
摘要： 本发明一种辉光放电电极，具体公开一种具有缝隙电绝缘结构的辉光放电电极，该电极包括真空引线、设置在真空引线一端的电极、套在真空引线和电极外的屏蔽罩，所述的屏蔽罩与真空引线之间设有绝缘子，电极、真空引线与屏蔽罩之间均形成缝隙；所述的缝隙的间距为5～20mm，绝缘子远离电极的头部，绝缘子为纯度大于等于的Al2O3陶瓷材料。本发明的电极结构简单；具有良好的电绝缘性能和耐中子辐照性能；同时能够避免对周围系统产生寄生放电和射频干扰；无需定期维修，或延长定期维修间隔时间，满足聚变实验堆对回光放电电极的安全性和可靠性要求。该电极既适用于聚变实验堆，也适用于某些有特殊要求的超高真空装置的辉光放电电极。
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