-
公开(公告)号：CN109074998A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780025705.0
申请日：2017-04-12
申请人： 雷特罗萨米科技有限责任公司
摘要： 一种VHF Z线圈半导体处理等离子体源使用电感耦合等离子体(ICP)，并且具有以两个互连的匝圈缠绕腔室的Z形线圈。通过电源向线圈供应40MHz至120MHz的高频RF电力。被引入到腔室中的工艺气体通过线圈激发，并产生适合于半导体干法刻蚀的高密度的等离子体离子。
-
公开(公告)号：CN107253022B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201710443923.8
申请日：2017-06-13
申请人： 湖北汉光科技股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种速调管电子枪薄壁圆台形下热屏零件制造方法，所述薄壁圆台形下热屏包括顺向引伸零件和反向引伸零件，所述顺向引伸零件包括顺向中空圆柱筒及连接在所述顺向中空圆柱筒端面的顺向底部零件，所述反向引伸零件包括反向中空圆柱筒及连接在所述反向中空圆柱筒端面的反向顶部零件；采用把复杂的、多次冲压引伸零件分段成型，不需要用多次复杂的冲压引伸方法，节省了多套引伸模，只需要简单的点焊模，在加工过程中不会造成零件的报废；避免了薄壁零件多次冲压引伸，有效地降低了电子枪零件的加工难度，缩短了试制周期、降低了制造成本，且提高了零件的成品率。
-
公开(公告)号：CN102945777A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201210468934.9
申请日：2012-11-19
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： H01J1/52
摘要： 本发明公开了一种电场极化增强的放电电极，用于产生等离子体，其包括阴极、阳极和两者之间的电场极化增强结构。其中电场极化增强结构由单个的一维纳米结构或多个一维纳米结构的排列构成，其与阴极和阳极皆不接触。本发明还提出了九种利用一维纳米结构构造的电场极化增强结构的结构，并提供了相应的电场极化增强的放电电极的结构和制备方法。本发明通过将由一维纳米结构构成的电场极化增强结构设置在阴极与阳极之间的区域，可降低产生等离子体所需要的工作电压，并且能够避免传统技术中由于气体放电或者液体放电过程中各种辐射和粒子轰击效应对一维纳米结构的损害，由此有利于维持一维纳米结构有益效果的稳定性并延长使用寿命。
-
公开(公告)号：CN110931328B
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN201911242128.8
申请日：2019-12-06
申请人： 中国电子科技集团公司第十二研究所
摘要： 本发明公开一种阴极热子组件，包括：外筒；阴极‑热子结构；以及热屏；热屏包括位于内侧的呈筒状结构的内热屏以及位于内热屏外侧的呈筒状结构的外热屏；内热屏与外热屏之间通过一呈筒状结构的热屏支撑件连接固定；热屏支撑件包括第一侧壁部；第二侧壁部；以及台阶部；内热屏一端部的至少部分端部内表面贴合固定在所述第二侧壁部的外侧壁表面上；台阶部的顶面上包括有与内热屏一端部端面相贴合固定的贴合部，以及与内热屏一端部端面呈非贴合固定的非贴合部。本发明在能够保证热屏支撑件结构强度以及可靠性的前提下，可以有减少阴极‑热子结构与热屏之间的热传导路径，从而提高阴极‑热子结构的加热效率。
-
公开(公告)号：CN110931328A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911242128.8
申请日：2019-12-06
申请人： 中国电子科技集团公司第十二研究所
摘要： 本发明公开一种阴极热子组件，包括：外筒；阴极-热子结构；以及热屏；热屏包括位于内侧的呈筒状结构的内热屏以及位于内热屏外侧的呈筒状结构的外热屏；内热屏与外热屏之间通过一呈筒状结构的热屏支撑件连接固定；热屏支撑件包括第一侧壁部；第二侧壁部；以及台阶部；内热屏一端部的至少部分端部内表面贴合固定在所述第二侧壁部的外侧壁表面上；台阶部的顶面上包括有与内热屏一端部端面相贴合固定的贴合部，以及与内热屏一端部端面呈非贴合固定的非贴合部。本发明在能够保证热屏支撑件结构强度以及可靠性的前提下，可以有减少阴极-热子结构与热屏之间的热传导路径，从而提高阴极-热子结构的加热效率。
-
公开(公告)号：CN103903931B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201210575282.9
申请日：2012-12-26
申请人： 核工业西南物理研究院
摘要： 本发明属于一种辉光放电电极，具体公开一种嵌入式辉光放电电极，该电极包括真空法兰、真空电引线、设置在真空电引线真空侧一端的电极头和屏蔽罩，电极头位于屏蔽罩内；屏蔽罩的一侧套在真空电引线的真空侧，屏蔽罩的另一侧敞口。本发明的嵌入辉光放电电极可避免氘氚等离子体直接辐照，具有较低的漏水风险，满足热核聚变实验堆的安全性和可靠性。
-
公开(公告)号：CN107253022A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710443923.8
申请日：2017-06-13
申请人： 湖北汉光科技股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种速调管电子枪薄壁圆台形下热屏零件制造方法，所述薄壁圆台形下热屏包括顺向引伸零件和反向引伸零件，所述顺向引伸零件包括顺向中空圆柱筒及连接在所述顺向中空圆柱筒端面的顺向底部零件，所述反向引伸零件包括反向中空圆柱筒及连接在所述反向中空圆柱筒端面的反向顶部零件；采用把复杂的、多次冲压引伸零件分段成型，不需要用多次复杂的冲压引伸方法，节省了多套引伸模，只需要简单的点焊模，在加工过程中不会造成零件的报废；避免了薄壁零件多次冲压引伸，有效地降低了电子枪零件的加工难度，缩短了试制周期、降低了制造成本，且提高了零件的成品率。
-
公开(公告)号：CN103903931A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210575282.9
申请日：2012-12-26
申请人： 核工业西南物理研究院
摘要： 本发明属于一种辉光放电电极，具体公开一种嵌入式辉光放电电极，该电极包括真空法兰、真空电引线、设置在真空电引线真空侧一端的电极头和屏蔽罩，电极头位于屏蔽罩内；屏蔽罩的一侧套在真空电引线的真空侧，屏蔽罩的另一侧敞口。本发明的嵌入辉光放电电极可避免氘氚等离子体直接辐照，具有较低的漏水风险，满足热核聚变实验堆的安全性和可靠性。
-
公开(公告)号：CN203339097U
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201220728799.2
申请日：2012-12-26
申请人： 核工业西南物理研究院
摘要： 本实用新型属于一种辉光放电电极，具体公开一种嵌入式辉光放电电极，该电极包括真空法兰、真空电引线、设置在真空电引线真空侧一端的电极头和屏蔽罩，电极头位于屏蔽罩内；屏蔽罩的一侧套在真空电引线的真空侧，屏蔽罩的另一侧敞口。本实用新型的嵌入辉光放电电极可避免氘氚等离子体直接辐照，具有较低的漏水风险，满足热核聚变实验堆的安全性和可靠性。
-
公开(公告)号：CN206976281U
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201720684033.1
申请日：2017-06-13
申请人： 湖北汉光科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种速调管电子枪薄壁圆台形下热屏，包括顺向引伸零件和反向引伸零件，所述顺向引伸零件包括顺向中空圆柱筒、连接在所述顺向中空圆柱筒端面的顺向带齿过渡圆台筒及连接在所述顺向带齿过渡圆台筒底部的顺向顶端零件；所述反向引伸零件包括反向中空圆柱筒、连接在所述反向中空圆柱筒端面的反向带齿过渡圆台筒及连接在所述反向带齿过渡圆台筒顶部的反向顶端零件。本实用新型的速调管电子枪薄壁圆台形下热屏为分段成型的下热屏，加工时不需要用多次复杂的冲压引伸方法，节省了多套引伸模，只需要简单的点焊模，在加工过程中不会造成零件的报废。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
10 条记录 (耗时 0.009 秒)
