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公开(公告)号：CN113647552A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110941068.X
申请日：2021-08-16
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种食品处理方法及装置。所述方法包括发射自由电子；生成自由电子加速电场，加速所发射的自由电子；生成自由电子碰撞过程调制电场，控制部分自由电子与所述调制电场中的气体分子相互作用产生碰撞电离过程，生成碰撞电离自由电子；控制自由电子和碰撞电离自由电子共同作用于食品表面。本发明通过场发射过程降低自由电子透过高真空区域与食品所在的常压气氛界面时的能量要求，通过分级分区域地结构设计，可实现低能自由电子的有效透过，更进一步地通过构建食品周边区域的加速电场和调节气压。本发明解决了电子束食品处理技术中的高能电子破坏营养物质问题，以及副产物多、应用条件复杂的问题，同时实现食品净化、保鲜可控。
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公开(公告)号：CN108548864A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810231740.4
申请日：2018-03-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种等离子体气体传感器及其制造方法，该气体传感器包括基底、绝缘层、形成在基底上的针状结构阵列以及对电极，其中对电极设置在针状结构上方，由绝缘层隔离并形成气体放电空间，针状结构阵列的若干针状结构的顶端与金属颗粒形成异质结结构。该结构充分利用了对电极、针状结构、绝缘层间隙构成的微观尺度体系，其中针状结构和和对电极体现出了电场集聚效应，纳米级的放电空间提高了气体放电产生的电荷传导效率，促进了气体传感信号的采集。该等离子体气体传感器巧妙地实现了等离子体发生所需的局部强电场，利用了传输过程中的小尺度优势，达到了器件微型化、工作电压低、功耗低等技术效果。该结构的制造方法耗材少、结构利用率高，达到了高效率、节省、精准的微加工效果。
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公开(公告)号：CN103043601A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201310001074.2
申请日：2013-01-04
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基片强适应性纳米材料均匀成膜方法，包括步骤：制备纳米材料混合液或纳米材料溶液；制造载气流场；形成纳米材料雾化液滴；载气流场带动纳米材料雾化液滴竖直向上地喷射到基片表面。本发明还公开了一种基片强适应性纳米材料均匀化成膜装置，包括液体样品容器、超声雾化器、向上气流发生器、系统状态控制器。本发明能够通过制造均匀的载气流场，实现均匀的雾化液滴流，极大地提高了基片表面雾化液滴的覆盖均匀性，从而提高纳米材料的成膜均匀性，更好地实现了对成膜厚度的控制。此外，本发明所述方案对操作环境、基片类型、纳米材料的类型等因素具有很好的适应性。
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公开(公告)号：CN101413918B
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN200810201598.5
申请日：2008-10-23
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种电子器件技术领域的大长径比电极阵列及其制造方法，所述阵列由多层大长径比电极按层堆叠，每层大长径比电极的长度方向均平行于基片，每两层大长径比电极之间填充有固态绝缘材料，每一层中的每两个大长径比电极之间填充有固态绝缘材料。所述方法为：在基片表面沉积电极材料薄膜，使用图形转移方法形成大长径比电极阵列；在电极材料表面沉积固态绝缘材料，将电极材料完全覆盖；依次重复，制造多层大长径比电极的堆叠结构，形成大长径比电极阵列；在沿着垂直于大长径比电极长度的方向上使电极阵列断开，电场增强效应最强的区域平行于断开后形成的截面。本发明电场增强系数更高，且其他电场极化特征能更加可控地加以优化。
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公开(公告)号：CN101236178B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200810033990.3
申请日：2008-02-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N27/70
Abstract: 本发明涉及一种检测技术领域的多个标定指标的气体成分分辨与识别方法，利用由局部自持放电产生的离子流作为检测对象，采用“放电电极正极—放电电极负极—检测电极”三极结构形成放电区域和检测区域，通过改变检测电极的加载电压测量某种成分气体在检测区域内不同电场强度下形成的离子电流，将测量得到的“加载电压—检测电极电流”关系作为标定该成分气体的指标，在识别该成分气体时，用相同加载电压下的检测电极电流实测值与标定值进行对比。本发明能够显著提高场致电离气体传感器的选择性、敏感性；相对于间隙击穿电学特征检测方法，本发明能够极大改善器件的稳定性、寿命、可靠性和识别精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100480169C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200510030128.3
申请日：2005-09-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种碳纳米管微图形化方法，属于微纳电子技术、光电子技术和微细加工技术领域。本发明包括以下步骤：(1)碳纳米管膜的制备。(2)在碳纳米管膜上面形成反应离子刻蚀中的掩膜层，根据具体应用要求掩膜层的成分、厚度的选择及其加工工艺分为三种情况：①正胶掩膜层；②负胶掩膜层；③金属掩膜层。(3)反应离子刻蚀碳纳米管，形成碳纳米管图形。(4)去除掩膜层。本发明更好地适应各种不同成分和成膜方法形成的碳纳米管膜的图形化，同时充分利用微电子工艺的高精度图形化优势的碳纳米管图形化技术方案。
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公开(公告)号：CN101383256A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200810201597.0
申请日：2008-10-23
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种电子器件技术领域的大长径比电极的侧壁电极及其制造方法，所述的大长径比电极长度方向彼此平行并且平行于基片，如果电极层数大于两层，则各层堆叠排列，每两层大长径比电极之间填充有固态绝缘材料，所述的大长径比电极，在长度方向上分为相互电绝缘的不同部分，每两个部分之间，存在间隙，其中填充有气态或液态绝缘物质。所述方法为：在基片表面沉积电极材料薄膜，使用图形转移方法形成大长径比电极阵列，如果是单层电极，则直接形成包含电极间隙的图形，如果是多层电极，则在电极材料表面沉积固态绝缘材料，制造多层大长径比电极的堆叠结构，再形成电极间隙。本发明电场增强系数更高，且其他电场极化特征能更加可控地加以优化。
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公开(公告)号：CN1808111A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200510112218.7
申请日：2005-12-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N27/62
Abstract: 一种微电子技术领域的电离气体传感器微阵列结构。本发明包括：衬底、微电极阵列、微电极条单元、传感器单元，所述的微电极阵列设置在衬底上，包括多个微电极条单元，每对相邻阴阳电极条构成侧壁电极对，可产生可控电场，从而构成一个传感器单元，多个传感器单元组成微电极阵列，依据各个传感器单元内的相邻阴阳电极条的平面几何形状与间距是否相同，传感器单元分为等同单元和相异单元。本发明适于微电子加工技术加工，可将电极形状、间距的多种组合集成在一个微阵列中，因此能对目标气体放电现象的不同电学特征进行系统检测，可以增加检测精度和准确度，易于形成高敏感性、选择性、稳定性、工作安全性和低能耗的微型传感器阵列系统。
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公开(公告)号：CN1792326A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510112217.2
申请日：2005-12-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种传感器技术领域的微型人类呼吸传感器。本发明包括：衬底、微电极或者其阵列层，微电极或者其阵列层设置在衬底上，微电极或者其阵列层中，微电极或者其阵列的阴阳两极由空气间隔相互隔离。本发明灵敏度高，信噪比高，不需要接触人体，安全性、稳定性高，根据应用场合工作电压可以控制在几伏到几十伏，敏感单元核心能耗处于10－5瓦特数量级，结构简单，适于量产，易于阵列化且制造成本低。可以用于医疗、心理分析等领域。
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公开(公告)号：CN113647552B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202110941068.X
申请日：2021-08-16
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种食品处理方法及装置。所述方法包括发射自由电子；生成自由电子加速电场，加速所发射的自由电子；生成自由电子碰撞过程调制电场，控制部分自由电子与所述调制电场中的气体分子相互作用产生碰撞电离过程，生成碰撞电离自由电子；控制自由电子和碰撞电离自由电子共同作用于食品表面。本发明通过场发射过程降低自由电子透过高真空区域与食品所在的常压气氛界面时的能量要求，通过分级分区域地结构设计，可实现低能自由电子的有效透过，更进一步地通过构建食品周边区域的加速电场和调节气压。本发明解决了电子束食品处理技术中的高能电子破坏营养物质问题，以及副产物多、应用条件复杂的问题，同时实现食品净化、保鲜可控。
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