真空装置用闸阀
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101321888B

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN200680045212.5

    申请日:2006-11-28

    发明人: 饭岛荣一

    IPC分类号: C23C14/24 F16K3/02 F16K51/02

    摘要: 一种用于蒸镀装置的真空装置用闸阀,即使其位于开阀位置时,也可以通过保护阀箱的内壁面及阀体的密封部件与蒸镀材料的蒸气隔离来提高蒸镀室真空保持的可靠性。作为电子枪用闸阀(1),使用真空装置用闸阀,关闭阀时,与现有技术同样地阀体(3)把电子枪部从蒸镀室分离。打开阀时,通过把筒状的可动屏蔽件(22)插入阀的阀室(15)内,使阀室(15)与蒸镀室隔离,阀箱(2)的内壁面及阀体(3)的密封部件不暴露在蒸镀室内的蒸气中,以进行保护而避免蒸镀物(MgO)附着。

    成膜方法、面板制造装置、退火装置

    公开(公告)号:CN101798673B

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201010116579.X

    申请日:2010-02-10

    摘要: 本发明提供成膜方法、面板制造装置、退火装置,改善MgO保护膜的结晶取向强度分布。当将基板10的一边作为先头一面搬送一面对MgO膜进行成膜时,基板10的与先头呈直角的两边(两侧边)与两侧边之间的中央相比(111)结晶取向强度变低。当将退火用的加热器38分割为多根细长加热器38a,以基板10的两侧边与中央相比变为高温的方式进行加温时,两侧边的(111)结晶取向强度变高,(111)结晶取向强度的面内分布提高。

    真空处理装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101103136B

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN200680002130.2

    申请日:2006-07-21

    发明人: 饭岛荣一

    IPC分类号: C23C14/56

    CPC分类号: C23C14/568 C23C14/30

    摘要: 一种真空处理装置,其特征在于,该装置包括:搭载基材的多个载体;循环路径,保持为被控制的气氛,用于所述载体循环移动;多个基材出入室,设置于所述循环路径,用于对所述载体进行所述基材的投入及取出;真空处理室,分别设置于所述循环路径中的所述各基材出入室之间,用于对所述基材实施真空处理。

    等离子体显示面板
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101669185B

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN200880008964.3

    申请日:2008-03-11

    IPC分类号: H01J11/12 H01J11/48

    CPC分类号: H01J11/12 H01J9/261 H01J11/48

    摘要: 提供一种使等离子体显示面板内不会混入杂质气体的技术。通过由密合在第一、第二面板(20,30)上的金属膜构成的密闭部(17)来包围发光区域(15),并且将固定第一、第二面板(20,30)的密封部(41)配置在密闭部(17)的外侧。即使水分透过密封部(41),也不能透过密闭部(17),所以水分不会侵入到发光区域(15)内。由于密封部(41)可以透过水分,所以能够采用紫外线固化型树脂,提高作业效率。

    密封面板及等离子体显示面板的制造方法

    公开(公告)号:CN101421813B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN200780012717.6

    申请日:2007-04-04

    摘要: 本发明提供一种可以抑制放电电压升高的密封面板(100)。这种密封面板(100)包括配置在一对基板(1、2)间的整个周围、含有树脂材料的密封材(20),沿着密封材(20)的内周连续地或间断地形成有吸气剂(22),用于吸附由密封材(20)释放的杂质气体以及透过密封材(20)侵入的杂质气体。此外,沿着密封材(20)的内周连续地形成有紫外线屏蔽壁(24),用于屏蔽对密封面板(100)的内部产生的紫外线入射到密封材(20)。

    等离子体显示面板
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101669185A

    公开(公告)日:2010-03-10

    申请号:CN200880008964.3

    申请日:2008-03-11

    IPC分类号: H01J11/02 H01J29/86

    CPC分类号: H01J11/12 H01J9/261 H01J11/48

    摘要: 提供一种使等离子体显示面板内不会混入杂质气体的技术。通过由密合在第一、第二面板(20,30)上的金属膜构成的密闭部(17)来包围发光区域(15),并且将固定第一、第二面板(20,30)的密封部(41)配置在密闭部(17)的外侧。即使水分透过密封部(41),也不能透过密闭部(17),所以水分不会侵入到发光区域(15)内。由于密封部(41)可以透过水分,所以能够采用紫外线固化型树脂,提高作业效率。