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公开(公告)号:CN109075769A
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201780025009.X
申请日:2017-02-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 福田大辅
Abstract: 本发明提供一种过孔电极不易脱落的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:压电基板(2);IDT电极(3),设置在压电基板(2)上;支承构件(5),设置在压电基板(2)上,具有开口部(5a),且在开口部(5a)处包围IDT电极(3);覆盖构件(6),覆盖开口部(5a),设置在支承构件(5)上;以及过孔电极(7A),贯通覆盖构件(6)以及支承构件(5)。过孔电极(7A)具有在俯视时从侧面部向外侧鼓出的鼓出部(7a1)。鼓出部(7a1)位于覆盖构件(6)的内部。
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公开(公告)号:CN109075769B
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN201780025009.X
申请日:2017-02-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 福田大辅
Abstract: 本发明提供一种过孔电极不易脱落的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:压电基板(2);IDT电极(3),设置在压电基板(2)上;支承构件(5),设置在压电基板(2)上,具有开口部(5a),且在开口部(5a)处包围IDT电极(3);覆盖构件(6),覆盖开口部(5a),设置在支承构件(5)上;以及过孔电极(7A),贯通覆盖构件(6)以及支承构件(5)。过孔电极(7A)具有在俯视时从侧面部向外侧鼓出的鼓出部(7a1)。鼓出部(7a1)位于覆盖构件(6)的内部。
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公开(公告)号:CN108063603B
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN201710831439.2
申请日:2017-09-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供能抑制凸块安装时所用的助焊剂给其他电子部件或构件带来的影响以及特性劣化的弹性波装置(1),具备:压电基板(2)(压电体);设于压电基板(2)上的IDT电极(3)(功能电极);设于压电基板(2)上以便包围IDT电极(3)的支承构件(5);设置为覆盖支承构件(5)的外罩构件(6);设置为贯通支承构件(5)以及外罩构件(6)的过孔电极(8);和与过孔电极(8)接合的凸块(9)。在被压电基板(2)、支承构件(5)以及外罩构件(6)包围的中空空间配置IDT电极(3)。在外罩构件(6)中的与压电基板(2)侧相反侧的面的外周缘(6A)的至少一部分设有突出部(7),突出部(7)向与压电基板(2)侧相反侧延伸。
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公开(公告)号:CN110034741B
公开(公告)日:2023-07-21
申请号:CN201811559899.5
申请日:2018-12-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 福田大辅
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明的课题在于,使得不易产生裂缝。弹性波装置(1)具备基板(11)、IDT电极(12)、间隔层(13)、覆盖构件(14)、以及保护层(15)。间隔层设置在基板上,且包围IDT电极。覆盖构件设置在间隔层上,且与IDT电极分离,具有间隔层侧的第一主面(141)和与第一主面对置的第二主面(142)。保护层(15)具有与第二主面相接的第三主面(153)、与第三主面对置的第四主面(154)、以及与第四主面相连的侧面(155)。在保护层中的侧面中的至少一部分,在从基板的厚度方向(D1)的俯视下,包含侧面与第四主面的交线(156)的部分位于比基板的外缘(113)靠内侧。
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公开(公告)号:CN110034741A
公开(公告)日:2019-07-19
申请号:CN201811559899.5
申请日:2018-12-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 福田大辅
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明的课题在于,使得不易产生裂缝。弹性波装置(1)具备基板(11)、IDT电极(12)、间隔层(13)、覆盖构件(14)、以及保护层(15)。间隔层设置在基板上,且包围IDT电极。覆盖构件设置在间隔层上,且与IDT电极分离,具有间隔层侧的第一主面(141)和与第一主面对置的第二主面(142)。保护层(15)具有与第二主面相接的第三主面(153)、与第三主面对置的第四主面(154)、以及与第四主面相连的侧面(155)。在保护层中的侧面中的至少一部分,在从基板的厚度方向(D1)的俯视下,包含侧面与第四主面的交线(156)的部分位于比基板的外缘(113)靠内侧。
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公开(公告)号:CN108063603A
公开(公告)日:2018-05-22
申请号:CN201710831439.2
申请日:2017-09-14
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0514 , C30B29/30 , H01L41/081 , H01L41/09 , H01L41/1873 , H01L41/253 , H01L41/277 , H03H9/02559 , H03H9/02574 , H03H9/1071 , H03H9/25
Abstract: 本发明提供能抑制凸块安装时所用的助焊剂给其他电子部件或构件带来的影响以及特性劣化的弹性波装置(1),具备:压电基板(2)(压电体);设于压电基板(2)上的IDT电极(3)(功能电极);设于压电基板(2)上以便包围IDT电极(3)的支承构件(5);设置为覆盖支承构件(5)的外罩构件(6);设置为贯通支承构件(5)以及外罩构件(6)的过孔电极(8);和与过孔电极(8)接合的凸块(9)。在被压电基板(2)、支承构件(5)以及外罩构件(6)包围的中空空间配置IDT电极(3)。在外罩构件(6)中的与压电基板(2)侧相反侧的面的外周缘(6A)的至少一部分设有突出部(7),突出部(7)向与压电基板(2)侧相反侧延伸。
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公开(公告)号:CN205725680U
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201490001210.6
申请日:2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02921 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02992 , H03H9/1071 , H03H9/1092 , H03H9/14541 , H03H9/172 , H03H9/176 , H03H9/205 , H03H9/25 , H03H9/54 , H03H9/64
Abstract: 提供难以出现静电击穿的弹性波装置。弹性波装置(1)中,在压电基板(2)上形成电介质膜(3),在电介质膜(3)上形成具有第1梳齿电极(5)和第2梳齿电极(6)的IDT电极(4A),在第1、第2梳齿电极(5、6)分别电连接第1、第2布线电极(7、8a),第1、第2梳齿电极(5、6)分别具有电极指、和接触电极指的汇流条,压电基板(2)的导电率高于电介质膜3的导电率,第1布线电极(7)、第2布线电极(8a)、第1梳齿电极(5)的汇流条以及第2梳齿电极(6)的汇流条当中至少1一者具有与压电基板(2)直接接触的部分。
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