公开(公告)号：CN1254848C

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN200310115276.6

申请日：2003-11-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 野岛茂树 ,  三本木省次 ,  田中聪 ,  小谷敏也 ,  长谷部茂 ,  桥本耕治 ,  井上壮一 ,  池永修

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/00 ,  G03F1/00

CPC classification number: G03F1/36 ,  G03F1/68

Abstract: 本发明提供一种能够适当选取判定光掩模好坏时所用管理部位的光掩模制造方法。该方法具备：准备应在掩模基板上形成的掩模图形数据的工序；根据所述数据，分别对所述掩模图形中包括的多个图形，计算边缘移动灵敏度的工序，其中，该边缘移动灵敏度对应于，从图形边缘变动时应设定的适宜曝光量偏移的偏移量；根据所述计算出的边缘移动灵敏度，决定所述掩模基板上应形成的掩模图形的管理部位的工序；在所述掩模基板上形成掩模图形的工序；取得与所述掩模基板上形成的掩模图形的所述管理部位对应的区域中所包括的图形的尺寸的工序；以及根据所述取得的尺寸，判定所述掩模基板上形成的掩模图形的曝光裕度是否满足预定条件的工序。

公开(公告)号：CN1505102A

公开(公告)日：2004-06-16

申请号：CN200310115276.6

申请日：2003-11-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 野岛茂树 ,  三本木省次 ,  田中聪 ,  小谷敏也 ,  长谷部茂 ,  桥本耕治 ,  井上壮一 ,  池永修

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/00 ,  G03F1/00

CPC classification number: G03F1/36 ,  G03F1/68

Abstract: 本发明提供一种能够适当选取判定光掩模好坏时所用管理部位的光掩模制造方法。该方法具备：准备在掩模基板上应形成的掩模图形的数据的工序；按照数据，分别对所述掩模图形中包括的多个图形变动图形边缘时，计算与应该设定曝光量的适宜曝光量的偏移量对应的边缘移动灵敏度的工序；按照计算的边缘移动灵敏度，特定在掩模基板上应形成的掩模图形的管理部位的工序；在掩模基板上实际形成掩模图形的工序；取得与掩模基板上形成掩模图形的管理部位对应的区域中包括的图形尺寸的工序；以及按照取得的尺寸，判定掩模基板上形成的掩模图形是否满足规定条件的工序。