氧化铟锡膜用浸蚀液
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1348165A

    公开(公告)日:2002-05-08

    申请号:CN01135428.3

    申请日:2001-10-12

    Inventor: 山边纯成

    Abstract: 提供一种ITO膜用浸蚀液,该浸蚀液含有浸蚀氧化铟锡的有机酸以及吸附于氧化铟锡膜表面、具有使表面电位为负电位的性质且分子内部不含有苯环的阴离子型表面活性剂。该浸蚀液使得对ITO膜进行快速浸蚀成为可能,并且能够在不增加水质负荷的情况下进行废水处理。

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