制造光波导芯部的方法、制造光波导的方法、光波导和光电复合配线板

    公开(公告)号:CN102369467A

    公开(公告)日:2012-03-07

    申请号:CN201080014521.2

    申请日:2010-03-26

    Abstract: 为了提供一种有效制造具有以预定角度倾斜的端面(17)的光波导芯部的方法,使用制造光波导芯部(16)的以下方法。所述方法包括:芯部材料层(13)形成步骤,在已经在衬底上形成的覆层(12)的表面上形成由感光材料形成的芯部材料层;高折射率物质(15)覆盖步骤,通过使具有高于1的折射率的物质与芯部材料层表面紧密接触来利用高折射率物质覆盖芯部材料层的表面;曝光步骤,利用相对于覆层表面以预定角度倾斜的曝光的光,通过在覆盖有高折射率物质的侧上照射芯部材料层,对芯部材料层以预定芯部形成形状进行图案曝光从而形成芯部;高折射率物质除去步骤,将高折射率物质从在曝光步骤中曝光的芯部材料层的表面上除去;和显影步骤,显影芯部材料层以便形成具有倾斜端面(17)的芯部,其中在高折射率物质除去步骤中已经从芯部材料层除去了高折射率物质。

    制造光波导的方法

    公开(公告)号:CN102016666A

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN200980114712.3

    申请日:2009-04-20

    CPC classification number: G02B6/138 G02B6/1221

    Abstract: 本发明的目的是通过使芯部的表面平滑来制造具有低的光损耗的光波导。为此,一种制造光波导的方法包括:在形成在基材(1)上的下覆层(2)的表面上形成光敏聚合物的芯部形成层(3)的芯部形成层形成步骤;通过对芯部形成层(3)的热处理降低芯部形成层(3)的表面粘度来使表面平滑的平滑步骤;和经过对被平滑的芯部形成层(3)的选择曝光来形成芯部的曝光步骤。

Patent Agency Ranking