一种用于ITO-Ag-ITO导电薄膜的低黏度蚀刻液及其制备方法

    公开(公告)号:CN106479504A

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201610860875.8

    申请日:2016-09-29

    CPC classification number: C09K13/06

    Abstract: 本发明涉及一种用于ITO-Ag-ITO导电薄膜的低黏度蚀刻液及其制备方法,其重量百分比组成如下:硝酸5~15%,硫酸5~15%,醋酸5~25%,添加剂0.01~1%,余量为水,所述添加剂为碱金属盐。该蚀刻液的制备方法为:按比例依次将电子级硫酸、电子级硝酸和电子级醋酸加入到混配釜中,然后加入添加剂和余量高纯水,搅拌循环后过滤。该蚀刻液蚀刻能力强,蚀刻精度高无残留。该蚀刻液以硫酸为原料,不含磷酸,蚀刻液黏度低,蚀刻过程中药液带出量少,蚀刻液寿命长,有利于降低蚀刻液的成本。

    一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置

    公开(公告)号:CN103418206B

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201310317812.4

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置,包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置,所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽,所述除水器的进口为有机废气入口,所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收层连通,所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置连接,所述回收槽的底部与排出管连接,所述排出管上安装阀门。本发明提供了一种节省成本、降低能耗的乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置。

    一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置

    公开(公告)号:CN103418206A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201310317812.4

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置,包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置,所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽,所述除水器的进口为有机废气入口,所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收层连通,所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置连接,所述回收槽的底部与排出管连接,所述排出管上安装阀门。本发明提供了一种节省成本、降低能耗的乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置。

    半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置

    公开(公告)号:CN203425689U

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201320448069.1

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 一种半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置,所述有机废气回收再利用装置包括除水器、有机废气吸收器和第二吸收器,用以导入待处理有机废气的排气管与所述除水器的进口连接,所述除水器的出口与第一气体收集管的上端连接,所述第一气体收集管的下端伸入所述有机废气吸收器的内腔的吸收液中,所述有机废气吸收器的顶部与第二气体收集管的一端连接,所述第二气体收集管的另一端伸入所述第二吸收器的内腔的吸收液中,所述第二吸收器的顶部与排空管连通。本实用新型提供了一种节省成本、实现再利用的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置。

    利用乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置

    公开(公告)号:CN203425677U

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201320449477.9

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 一种利用乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置,包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置,所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽,所述除水器的进口为有机废气入口,所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收层连通,所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置连接,所述回收槽的底部与排出管连接,所述排出管上安装阀门。本实用新型提供了一种节省成本、降低能耗的利用乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置。

    在线循环利用剥离液有机废气的装置

    公开(公告)号:CN203425676U

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201320447931.7

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 一种在线循环利用剥离液有机废气的装置,包括除水器、常温水冷凝器、冰盐水冷凝器、冷凝液接收器、阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔和混配槽,所述除水器的进口与用以导入待处理有机废气的排气管连通,所述除水器的出口依次与所述常温水冷凝器、冰盐水冷凝器连通,所述冰盐水冷凝器的出口与所述冷凝液接收器的进口连通,所述冷凝液接收器的出口依次与阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔连通,所述阴离子交换树脂塔的出口与所述混配槽的第一进料口连接,所述混配槽还包括第二进料口和出料口。本实用新型提供了一种降低成本、实现循环利用的在线循环利用剥离液有机废气的装置。

    半导体/面板厂有机废气净化的装置

    公开(公告)号:CN203425693U

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201320448115.8

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 一种半导体/面板厂有机废气净化的装置,包括除水器、压缩器、膜分离器和冷凝器,所述除水器的进口为有机废气入口,所述除水器的出口与所述压缩器的进口连通,所述压缩器的出口与所述膜分离器的进口连通,所述膜分离器包括空气出口和废气出口,所述膜分离器的废气出口与所述冷凝器的入口连接,所述冷凝器的出口与循环管连通,所述循环管的另一端与所述压缩器的进口连通。本实用新型提供了一种节省成本、降低能耗的半导体/面板厂有机废气净化的装置。

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