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公开(公告)号：CN101821844A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200880111094.2
申请日：2008-09-30
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N27/04 , G01R27/2623 , Y10T29/49117
摘要： 由导电材料形成的室连接于地电势。由导电材料形成的热电极置于该室内、在基本上横向方位上并与该室物理分隔。该热电极包括被限定为支撑待测部件的上表面。射频(RF)传输杆连接以通过该室的底部中的开口从该热电极的该底部表面延伸并与该室物理分割。该射频传输杆被限定为从电气组件外壳中的导体板向该热电极传输射频电力。由导电材料形成的上电极被置于该室内、在基本上横向方位上。该上电极电气连接于该室并被限定为可以在竖直方向上移动。
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公开(公告)号：CN101563762A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200780046900.8
申请日：2007-12-17
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 杰森·奥古斯蒂诺 , 安东尼·德拉列拉 , 艾伦·K·龙尼 , 金在贤 , 拉金德尔·德辛德萨 , 王云昆 , 沙鲁巴·J·乌拉尔 , 安东尼·J·诺雷尔 , 基思·科门丹特 , 小威廉姆·M·丹蒂
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205 , C23C16/505
CPC分类号： H01L21/67069 , C23C16/45565 , C23C16/45582 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32541 , H01L21/67017
摘要： 提供一种用于等离子处理设备的喷头电极总成。该喷头电极总成包括第一构件，贴附于第二构件。该第一和第二构件具有流体连通的第一和第二气体通道。当工艺气体流过这些气体通道，在该第一和第二气体通道产生总的压降。在该第二气体通道的该总的压降的部分大于在该第一气体通道的该总的压降的部分。
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公开(公告)号：CN101821844B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200880111094.2
申请日：2008-09-30
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N27/04 , G01R27/2623 , Y10T29/49117
摘要： 由导电材料形成的室连接于地电势。由导电材料形成的热电极置于该室内、在基本上横向方位上并与该室物理分隔。该热电极包括被限定为支撑待测部件的上表面。射频(RF)传输杆连接以通过该室的底部中的开口从该热电极的该底部表面延伸并与该室物理分割。该射频传输杆被限定为从电气组件外壳中的导体板向该热电极传输射频电力。由导电材料形成的上电极被置于该室内、在基本上横向方位上。该上电极电气连接于该室并被限定为可以在竖直方向上移动。
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公开(公告)号：CN101529558B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200780038609.6
申请日：2007-10-16
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 安东尼·德拉列拉 , 阿兰·K·龙尼 , 金在贤 , 杰森·奥古斯蒂诺 , 拉金德尔·德辛德萨 , 王云昆 , 沙鲁巴·J·乌拉尔 , 安东尼·J·诺雷尔 , 基思·科门丹特 , 小威廉姆·丹堤
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/203
CPC分类号： H01J37/32449 , H01J37/32009 , H01J37/32541 , H01J37/3255
摘要： 等离子处理装置的元件包括具有气体通道的背衬构件，该背衬构件连接于具有气体通道的上电极。为了抵消该金属背衬构件和上电极间的热膨胀系数的差异，气体通道的位置和大小被调整为在室温下是没有对齐的，而在升高的处理温度下是大体上同心的。因为热膨胀，该弹性体粘合材料中会产生不一致的切变应力。应用可变厚度的弹性体粘合材料或使用包含多个块的背衬构件可调节切变应力。
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公开(公告)号：CN101563762B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200780046900.8
申请日：2007-12-17
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 杰森·奥古斯蒂诺 , 安东尼·德拉列拉 , 艾伦·K·龙尼 , 金在贤 , 拉金德尔·德辛德萨 , 王云昆 , 沙鲁巴·J·乌拉尔 , 安东尼·J·诺雷尔 , 基思·科门丹特 , 小威廉姆·M·丹蒂
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205 , C23C16/505
CPC分类号： H01L21/67069 , C23C16/45565 , C23C16/45582 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32541 , H01L21/67017
摘要： 提供一种用于等离子处理设备的喷头电极总成。该喷头电极总成包括第一构件，贴附于第二构件。该第一和第二构件具有流体连通的第一和第二气体通道。当工艺气体流过这些气体通道，在该第一和第二气体通道产生总的压降。在该第二气体通道的该总的压降的部分大于在该第一气体通道的该总的压降的部分。
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公开(公告)号：CN101529558A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780038609.6
申请日：2007-10-16
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 安东尼·德拉列拉 , 阿兰·K·龙尼 , 金在贤 , 杰森·奥古斯蒂诺 , 拉金德尔·德辛德萨 , 王云昆 , 沙鲁巴·J·乌拉尔 , 安东尼·J·诺雷尔 , 基思·科门丹特 , 小威廉姆·丹堤
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/203
CPC分类号： H01J37/32449 , H01J37/32009 , H01J37/32541 , H01J37/3255
摘要： 等离子处理装置的元件包括具有气体通道的背衬构件，该背衬构件连接于具有气体通道的上电极。为了抵消该金属背衬构件和上电极间的热膨胀系数的差异，气体通道的位置和大小被调整为在室温下是没有对齐的，而在升高的处理温度下是大体上同心的。因为热膨胀，该弹性体粘合材料中会产生不一致的切变应力。应用可变厚度的弹性体粘合材料或使用包含多个块的背衬构件可调节切变应力。
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