公开(公告)号：CN101821844B

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN200880111094.2

申请日：2008-09-30

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 金在贤 ,  亚瑟·H·萨托 ,  基思·科门丹特 ,  青·刘 ,  吴飞扬

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： G01N27/04 ,  G01R27/2623 ,  Y10T29/49117

摘要： 由导电材料形成的室连接于地电势。由导电材料形成的热电极置于该室内、在基本上横向方位上并与该室物理分隔。该热电极包括被限定为支撑待测部件的上表面。射频(RF)传输杆连接以通过该室的底部中的开口从该热电极的该底部表面延伸并与该室物理分割。该射频传输杆被限定为从电气组件外壳中的导体板向该热电极传输射频电力。由导电材料形成的上电极被置于该室内、在基本上横向方位上。该上电极电气连接于该室并被限定为可以在竖直方向上移动。

公开(公告)号：CN101821844A

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200880111094.2

申请日：2008-09-30

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 金在贤 ,  亚瑟·H·萨托 ,  基思·科门丹特 ,  青·刘 ,  吴飞扬

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： G01N27/04 ,  G01R27/2623 ,  Y10T29/49117

摘要： 由导电材料形成的室连接于地电势。由导电材料形成的热电极置于该室内、在基本上横向方位上并与该室物理分隔。该热电极包括被限定为支撑待测部件的上表面。射频(RF)传输杆连接以通过该室的底部中的开口从该热电极的该底部表面延伸并与该室物理分割。该射频传输杆被限定为从电气组件外壳中的导体板向该热电极传输射频电力。由导电材料形成的上电极被置于该室内、在基本上横向方位上。该上电极电气连接于该室并被限定为可以在竖直方向上移动。