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公开(公告)号：CN100549215C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200580051109.7
申请日：2005-08-25
Applicant: 日立造船株式会社
CPC classification number: C23C14/042
Abstract: 本发明的真空蒸镀用校准装置具有掩模保持架(7)、连接用板(12)、位置调整装置(13)、伸缩式筒状遮断构件(14)、及施力装置(15)；该掩模保持架(7)在保持于真空容器(3)内的基片(5)的下方通过悬挂构件(11)保持，该悬挂构件(11)插通到形成于作为容器的上壁面的安装用板(1a)的贯通孔(1b)；该连接用板(12)设于真空容器的外方，同时，连接于悬挂构件；该位置调整装置(13)使该连接用板移动，可调整蒸镀室(2)内的掩模(8)相对基片(5)的位置；该伸缩式筒状遮断构件(14)外嵌于悬挂构件，同时，设于安装用板的贯通孔(1b)的外周与连接用板间，遮断真空侧与大气侧；该施力装置(15)发生与使筒状遮断构件的内侧处于真空状态从而对连接用板产生的推压力相反方向的力。
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公开(公告)号：CN104903679B
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201380070057.2
申请日：2013-11-12
Applicant: 日立造船株式会社
Inventor： 冈田利幸
CPC classification number: E21D11/40 , E21D9/06 , G01B11/2408 , G01B21/20 , G01B21/22
Abstract: 本发明涉及一种管片真圆度测量装置，其具备修正装置(31)，该修正装置(31)基于通过角度检测器(50)检测出的角度和通过以相互不同角度配置在拼装机旋转部(21)上的三个以上的测距仪(41～44)测量出的距离，对由拼装机旋转部(21)的旋转中心(O1)的偏心引起的位置偏移进行修正。
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公开(公告)号：CN1050549C
公开(公告)日：2000-03-22
申请号：CN94117151.5
申请日：1994-10-21
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: B22D11/04
CPC classification number: B22D11/166 , Y10S128/925
Abstract: 在利用电动液压步进缸、通过连杆机构使铸型振动的振动装置中，向步进缸的驱动装置输出驱动信号时，将铸型的实际加速度反馈到铸型的目标波形信号中，同时还加上消除步进缸的动作滞后及连杆机构等的弹性形变引起的信号传递滞后用的补偿信号，进行前馈补偿。
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公开(公告)号：CN107109938A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580073113.7
申请日：2015-12-01
Applicant: 日立造船株式会社
Abstract: 本发明提供一种隧道掘进机(1)，其具备：刀盘(11)、刀具支承部(12)、刀具驱动部(14)、旋转位置检测部(20)、应变传感器(22)、和数据处理部(23)。该数据处理部(23)基于应变传感器以及旋转位置检测部的检测结果，而取得与刀盘在旋转方向上的位置相对应地作用在刀盘上的力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101228289A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200580051108.2
申请日：2005-08-25
Applicant: 日立造船株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/001 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 一种真空蒸镀用校准装置，具有基片保持架(11)、连接用板(13)、位置调整装置(14)、伸缩式筒状遮断构件(15)及施力装置(16)；该基片保持架(11)在保持于真空容器(3)内的掩模的上方通过悬挂构件(12)保持，该悬挂构件(12)插通到形成于作为真空容器上壁面的安装用板(1a)的贯通孔(1b)；该连接用板(13)设于真空容器的外部，同时，连接于悬挂构件；该位置调整装置(14)使该连接用板移动，可调整蒸镀室(2)内的基片(5)相对掩模的位置；该伸缩式筒状遮断构件(15)外嵌于悬挂构件，同时，设于安装用板的贯通孔(1b)的外周与连接用板间，遮断真空侧与大气侧；该施力装置(16)产生与因筒状遮断构件的内侧处于真空状态而产生的作用于连接用板的推压力方向相反的力。
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公开(公告)号：CN104903679A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201380070057.2
申请日：2013-11-12
Applicant: 日立造船株式会社
Inventor： 冈田利幸
CPC classification number: E21D11/40 , E21D9/06 , G01B11/2408 , G01B21/20 , G01B21/22
Abstract: 本发明涉及一种管片真圆度测量装置，其具备修正装置(31)，该修正装置(31)基于通过角度检测器(50)检测出的角度和通过以相互不同角度配置在拼装机旋转部(21)上的三个以上的测距仪(41～44)测量出的距离，对由拼装机旋转部(21)的旋转中心(O1)的偏心引起的位置偏移进行修正。
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公开(公告)号：CN100587103C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200580051108.2
申请日：2005-08-25
Applicant: 日立造船株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/001 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 一种真空蒸镀用校准装置，具有基片保持架(11)、连接用板(13)、位置调整装置(14)、伸缩式筒状遮断构件(15)及施力装置(16)；该基片保持架(11)在保持于真空容器(3)内的掩模的上方通过悬挂构件(12)保持，该悬挂构件(12)插通到形成于作为真空容器上壁面的安装用板(1a)的贯通孔(1b)；该连接用板(13)设于真空容器的外部，同时，连接于悬挂构件；该位置调整装置(14)使该连接用板移动，可调整蒸镀室(2)内的基片(5)相对掩模的位置；该伸缩式筒状遮断构件(15)外嵌于悬挂构件，同时，设于安装用板的贯通孔(1b)的外周与连接用板间，遮断真空侧与大气侧；该施力装置(16)产生与因筒状遮断构件的内侧处于真空状态而产生的作用于连接用板的推压力方向相反的力。
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公开(公告)号：CN1104943A
公开(公告)日：1995-07-12
申请号：CN94117151.5
申请日：1994-10-21
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: B22D11/04
CPC classification number: B22D11/166 , Y10S128/925
Abstract: 在利用电动液压步进缸、通过连机机构使铸型振动的振动装置中，向步进缸的驱动装置输出驱动信号时，将铸型的实际加速度反馈到铸型的目标波形信号中，同时还加上消除步进缸的动作滞后及连杆机构等的弹性形变引起的信号传递滞后用的补偿信号，进行前馈补偿。
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公开(公告)号：CN107109938B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201580073113.7
申请日：2015-12-01
Applicant: 日立造船株式会社
Abstract: 本发明提供一种隧道掘进机(1)，其具备：刀盘(11)、刀具支承部(12)、刀具驱动部(14)、旋转位置检测部(20)、应变传感器(22)、和数据处理部(23)。该数据处理部(23)基于应变传感器以及旋转位置检测部的检测结果，而取得与刀盘在旋转方向上的位置相对应地作用在刀盘上的力。
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