公开(公告)号：CN100492609C

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200610169238.2

申请日：2006-12-21

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 森冈育久 ,  鹤田英芳 ,  川尻哲也 ,  鸟越猛

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H02N13/00 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6875

Abstract: 本发明是利用库仑力的静电吸盘，其提供在维持吸附力的状态下，减少附着在基板上的颗粒的静电吸盘。静电吸盘(10)具备：基体(11)；形成于该基体(11)上并产生库仑力的电极(12)；在对基板(1)进行支撑的一侧的第1主面上具有以突起上面支撑该基板(1)的多个突起(13a)的电介质层(13)，突起(13a)之间的间隔大致均等地设置，突起上面的表面粗糙度(Ra)在0.5μm以下，突起(13a)的高度为5～20μm，使第1主面每单位面积100cm2的所述突起(13a)的数目为A(个/100cm2)，所述突起(13a)的高度为B(μm)时，满足数式A1/2×B2＞200的关系。

公开(公告)号：CN101030550A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200610080268.6

申请日：2006-05-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 今井康喜 ,  太田充 ,  鸟越猛

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的目的在于，抑制利用约翰逊·拉别克力的静电吸盘中产生过剩的漏电流，长期保持吸附特性，以及提高衬底的解吸响应性。本发明的静电吸盘10，是利用约翰逊·拉别克力的静电吸盘，其特征在于，具有电介体层13和产生静电吸附力的电极12a、12b，所述电介体层13具有陶瓷层13a和形成于陶瓷层13a上的树脂层13b。

公开(公告)号：CN1988128A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610169238.2

申请日：2006-12-21

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 森冈育久 ,  鹤田英芳 ,  川尻哲也 ,  鸟越猛

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H02N13/00 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6875

Abstract: 本发明是利用库仑力的静电吸盘，其提供在维持吸附力的状态下，减少附着在基板上的颗粒的静电吸盘。静电吸盘(10)具备：基体(11)；形成于该基体(11)上并产生库仑力的电极(12)；在对基板(1)进行支撑的一侧的第1主面上具有以突起上面支撑该基板(1)的多个突起(13a)的电介质层(13)，突起(13a)之间的间隔大致均等地设置，突起上面的表面粗糙度(Ra)在0.5μm以下，突起(13a)的高度为5～20μm，使第1主面每单位面积100cm2的所述突起(13a)的数目为A(个/100cm2)，所述突起(13a)的高度为B(μm)时，满足数式A1/2×B2＞200的关系。

公开(公告)号：CN101110382B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200710136042.8

申请日：2007-07-13

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 森丰 ,  服部亮誉 ,  鸟越猛

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供了载置于衬底载置面上的衬底的高温下的解吸应答性优异的静电卡盘加热器。该静电卡盘加热器的特征是，在氧化铝烧结体(41)的上面和下面分别涂布含有粘合剂的导电糊(43、45)，分别印刷静电电极和加热器电极，然后对该氧化铝烧结体(41)进行煅烧，在静电电极上侧配置氧化铝粉末(49)，在加热器电极下侧配置氧化铝粉末(47)的状态下，将这些氧化铝粉末(47、49)和氧化铝烧结体(41)加压成形，进行加压烧成，形成基体，将电介质层中的静电电极附近的导电性物质的扩散面积率设定为0.25％以下。

公开(公告)号：CN101110382A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200710136042.8

申请日：2007-07-13

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 森丰 ,  服部亮誉 ,  鸟越猛

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供了载置于衬底载置面上的衬底的高温下的解吸应答性优异的静电卡盘加热器。该静电卡盘加热器的特征是，在氧化铝烧结体41的上面和下面分别涂布含有粘合剂的导电糊43、45，分别印刷静电电极和加热器电极，然后对该氧化铝烧结体41进行煅烧，在静电电极上侧配置氧化铝粉末49，在加热器电极下侧配置氧化铝粉末47的状态下，将这些氧化铝粉末47、49和氧化铝烧结体41加压成形，进行加压烧成，形成基体，将电介质层中的静电电极附近的导电性物质的扩散面积率设定为0.25％以下。