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公开(公告)号：CN101030550A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200610080268.6
申请日：2006-05-15
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6833 , H02N13/00
Abstract: 本发明的目的在于，抑制利用约翰逊·拉别克力的静电吸盘中产生过剩的漏电流，长期保持吸附特性，以及提高衬底的解吸响应性。本发明的静电吸盘10，是利用约翰逊·拉别克力的静电吸盘，其特征在于，具有电介体层13和产生静电吸附力的电极12a、12b，所述电介体层13具有陶瓷层13a和形成于陶瓷层13a上的树脂层13b。
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