发明授权
- 专利标题： 静电吸盘
- 专利标题（英）： Electrostatic chuck
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申请号： CN200610169238.2申请日： 2006-12-21
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公开(公告)号： CN100492609C公开(公告)日： 2009-05-27
- 发明人: 森冈育久 , 鹤田英芳 , 川尻哲也 , 鸟越猛
- 申请人： 日本碍子株式会社
- 申请人地址： 日本爱知县
- 专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人地址： 日本爱知县
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 张敬强
- 优先权： 2005-370412 2005.12.22 JP
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
摘要：
本发明是利用库仑力的静电吸盘，其提供在维持吸附力的状态下，减少附着在基板上的颗粒的静电吸盘。静电吸盘(10)具备：基体(11)；形成于该基体(11)上并产生库仑力的电极(12)；在对基板(1)进行支撑的一侧的第1主面上具有以突起上面支撑该基板(1)的多个突起(13a)的电介质层(13)，突起(13a)之间的间隔大致均等地设置，突起上面的表面粗糙度(Ra)在0.5μm以下，突起(13a)的高度为5～20μm，使第1主面每单位面积100cm2的所述突起(13a)的数目为A(个/100cm2)，所述突起(13a)的高度为B(μm)时，满足数式A1/2×B2＞200的关系。
公开/授权文献
- CN1988128A 静电吸盘 公开/授权日：2007-06-27
IPC分类:
