公开(公告)号：CN111066243A

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201880003452.1

申请日：2018-09-04

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 多井知义 ,  滑川政彦 ,  鹈野雄大 ,  服部良祐 ,  浅井圭一郎

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

Abstract: 针对在由多晶陶瓷构成的支撑基板上直接接合压电性材料基板这种类型的弹性波元件，提高弹性波元件的Q值。弹性波元件10具备：压电性材料基板1A；中间层2，所述中间层2设置于压电性材料基板1A上，并且由选自由氧化硅、氮化铝以及硅铝氧氮陶瓷组成的组中的一种以上的材质构成；接合层3，所述接合层3设置于中间层2上，并且由选自由五氧化钽、五氧化铌、氧化钛、莫来石、氧化铝、高电阻硅以及氧化铪组成的组中的一种以上的材质构成；支撑基板5，所述支撑基板5由多晶陶瓷构成，并与接合层3直接接合；以及电极9，所述电极9设置于压电性材料基板1A上。

公开(公告)号：CN111066243B

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN201880003452.1

申请日：2018-09-04

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 多井知义 ,  滑川政彦 ,  鹈野雄大 ,  服部良祐 ,  浅井圭一郎

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

Abstract: 针对在由多晶陶瓷构成的支撑基板上直接接合压电性材料基板这种类型的弹性波元件，提高弹性波元件的Q值。弹性波元件10具备：压电性材料基板1A；中间层2，所述中间层2设置于压电性材料基板1A上，并且由选自由氧化硅、氮化铝以及硅铝氧氮陶瓷组成的组中的一种以上的材质构成；接合层3，所述接合层3设置于中间层2上，并且由选自由五氧化钽、五氧化铌、氧化钛、莫来石、氧化铝、高电阻硅以及氧化铪组成的组中的一种以上的材质构成；支撑基板5，所述支撑基板5由多晶陶瓷构成，并与接合层3直接接合；以及电极9，所述电极9设置于压电性材料基板1A上。

公开(公告)号：CN102577104B

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201080047831.4

申请日：2010-09-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 滑川政彦 ,  矢野信介 ,  堀尾保文 ,  鹤冈达也 ,  平井隆己 ,  大久保秀显 ,  水间厚夫

IPC: H03F1/07 ,  H03F1/32 ,  H03F3/60

CPC classification number: H03F1/0288 ,  H01P5/12 ,  H01P5/187 ,  H03F3/602 ,  H03F2200/204

Abstract: 多赫蒂放大器用合成器(10A)在一个介电体基板(42)具有：载波侧输入端子(26)；峰值侧输入端子(28)；输出端子(30)；载波放大器(12)的输出和峰值放大器(14)的输出的合成点(32)；连接于载波侧输入端子(26)和合成点(32)之间的第1λ/4线路(34A)；连接于合成点(32)和输出端子(30)之间的第2λ/4线路(34B)；第1定向耦合器(40A)。第1定向耦合器(40A)具有与第1λ/4线路(34A)和第2λ/4线路(34B)中作为监测对象的λ/4线路电磁耦合的第3λ/4线路(34C)。

公开(公告)号：CN101507093B

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN200780030923.X

申请日：2007-08-21

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 滑川政彦 ,  植谷政之 ,  清水秀树 ,  山田智裕 ,  高桥伸夫

IPC: H02N2/00 ,  H01L41/083

CPC classification number: H01L41/0471 ,  H01L41/0913 ,  H02N2/004

Abstract: 一种用于超声电机的压电致动器元件，由通过交替层叠压电层(10)和将压电层(10)分割为大致相等的两部分而形成的电极层(12)而构成的层叠压电元件(14)构成，并且使用一次纵向、二次弯曲的模式。从层叠压电元件(14)的表面部到厚度方向的中央部形成了压电非活性区域(11)。该压电致动器元件可以抑制位移降低且提高耐迁移性，并防止短路(short)的发生，同时可以使交流极化时的发热部位分散，提高可靠性。此外，可以减少电极的数量，降低成本。

公开(公告)号：CN1188538A

公开(公告)日：1998-07-22

申请号：CN97190292.5

申请日：1997-03-28

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 武内幸久 ,  滑川政彦 ,  柴田和义 ,  大西孝生

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04

Abstract: 一种振动陀螺传感器构成如下。即,一个检测压电/电致伸缩元件12形成于一检测部分上,所述检测压电/电致伸缩元件12检测当振动器2被振动时,在垂直于振动器2的振动方向的方向上的位移。所述检测部分和振动器2及座基4一起由陶瓷的整体焙烧产品组成。所述检测部分由比振动器2薄得多,并且其主要表面沿振动方向伸展的第一板形部分6构成。所述压电/电致伸缩元件12根据薄膜形成方法以整体方式形成于所述第一板形部分6上。

公开(公告)号：CN117859417A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202280056274.5

申请日：2022-08-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 鹈野雄大 ,  多井知义 ,  滑川政彦

IPC: H10N30/853 ,  H10N30/87 ,  H10N30/06 ,  H10N30/097 ,  H03H3/08 ,  H03H9/25

Abstract: 本发明提供翘曲的发生得以抑制的复合基板。本发明的实施方式的复合基板具有：支撑基板、以及配置于所述支撑基板的上方的压电膜，所述压电膜由利用Lotgering法求出的c轴取向度为80％以下的多晶体构成。

公开(公告)号：CN114868266A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202180007200.8

申请日：2021-01-07

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 多井知义 ,  鹈野雄大 ,  浅井圭一郎 ,  服部良祐 ,  丹羽真人 ,  滑川政彦

IPC: H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/31

Abstract: 本发明的课题在于，能够抑制由压电振动元件安装时施加的加热、超声波振动及施重所导致的裂纹或缺口。[0012]压电振动元件11具备：由块状的压电性材料形成的压电层2A、压电层2A的第一面2a上的下部电极3以及接合于下部电极3的支撑基板5。

公开(公告)号：CN110574290B

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN201880025872.X

申请日：2018-02-20

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 多井知义 ,  滑川政彦 ,  吉野隆史

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

Abstract: 本发明提供一种弹性波元件，是将压电性材料基板与支撑基板借助接合层而接合的弹性波元件，其结构能够进一步改善弹性波的传播损失及频率的温度特性。弹性波元件具备：压电性材料基板2A、压电性材料基板2A上的电极4、支撑基板3、以及将压电性材料基板2A与支撑基板3接合的接合层1A。接合层1A包含水晶。

公开(公告)号：CN110574290A

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201880025872.X

申请日：2018-02-20

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 多井知义 ,  滑川政彦 ,  吉野隆史

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

Abstract: 本发明提供一种弹性波元件，是将压电性材料基板与支撑基板借助接合层而接合的弹性波元件，其结构能够进一步改善弹性波的传播损失及频率的温度特性。弹性波元件具备：压电性材料基板2A、压电性材料基板2A上的电极4、支撑基板3、以及将压电性材料基板2A与支撑基板3接合的接合层1A。接合层1A包含水晶。

公开(公告)号：CN108781064B

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201780017368.0

申请日：2017-02-22

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 多井知义 ,  堀裕二 ,  浅井圭一郎 ,  吉野隆史 ,  后藤万佐司 ,  滑川政彦

IPC: H03H3/08 ,  H01L41/313 ,  H01L41/337 ,  H01L41/39 ,  H03H9/25

Abstract: 在压电性材料基板1上形成接合层3，接合层3包含选自由氮化硅、氮化铝、氧化铝、五氧化钽、莫来石、五氧化铌和氧化钛构成的组中的一种以上的材质。通过对接合层的表面4和支撑基板的表面照射中性束A，将接合层的表面和支撑基板的表面活化。将接合层的表面5与支撑基板的表面直接键合。