公开(公告)号：CN108376635B

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN201810083616.8

申请日：2018-01-29

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 前田大树 ,  海野丰

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种晶圆支承台。晶圆支承台(20)具备屏蔽片(40)和屏蔽管(42)。屏蔽片(40)在等离子体产生电极(26)与加热器电极(30)之间以与两者非接触的状态埋设于陶瓷基体(22)中。屏蔽管(42)与屏蔽片(40)电连接，从陶瓷基体(22)的背面(22b)向陶瓷轴(24)的内部(陶瓷基体(22)的外部)延伸。等离子体产生电极(26)的杆(28)以与屏蔽管(42)非接触的状态贯穿于屏蔽管(42)的内部。加热器电极(30)的配线构件(31a、32a)以与屏蔽管(42)非接触的状态配置于屏蔽管(42)的外部。

公开(公告)号：CN108376635A

公开(公告)日：2018-08-07

申请号：CN201810083616.8

申请日：2018-01-29

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 前田大树 ,  海野丰

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32724 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/505 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32559 ,  H01J2237/0266 ,  H01J2237/3321 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01J37/32651 ,  H01J37/045 ,  H01J37/32715

Abstract: 本发明提供一种晶圆支承台。晶圆支承台(20)具备屏蔽片(40)和屏蔽管(42)。屏蔽片(40)在等离子体产生电极(26)与加热器电极(30)之间以与两者非接触的状态埋设于陶瓷基体(22)中。屏蔽管(42)与屏蔽片(40)电连接，从陶瓷基体(22)的背面(22b)向陶瓷轴(24)的内部(陶瓷基体(22)的外部)延伸。等离子体产生电极(26)的杆(28)以与屏蔽管(42)非接触的状态贯穿于屏蔽管(42)的内部。加热器电极(30)的配线构件(31a、32a)以与屏蔽管(42)非接触的状态配置于屏蔽管(42)的外部。