用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器

    公开(公告)号:CN110129746A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910503517.5

    申请日:2015-10-19

    Abstract: 本发明涉及用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器。反应器(R)具有反应室(RC),该反应室设有用于金属零件(1)的支撑体(S)并且设有与接地(2b)连接的阳极系统(2)和与支撑体(S)并且与脉动DC电源(10)连接的阴极系统(3)。在被加热并且被供给气体负载的反应室中,通过阴极中的放电,形成气体等离子体。液体或气体前体被准许进入与高电压能源(30)相关联的至少一个管状裂解室(20)中。可提供与电源(50)相关联的接收固体前体的至少一个管状溅射室(40)。在阳极(2)与所述管状室(20、40)中的一个或另一个之间施加电势差,以同时或单独地并且以任何次序地释放要对着金属零件(1)被离子轰击的合金元素。

Patent Agency Ranking