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公开(公告)号：CN110129746A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910503517.5
申请日：2015-10-19
Applicant: 圣卡塔琳娜州联邦大学
Abstract: 本发明涉及用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器。反应器(R)具有反应室(RC)，该反应室设有用于金属零件(1)的支撑体(S)并且设有与接地(2b)连接的阳极系统(2)和与支撑体(S)并且与脉动DC电源(10)连接的阴极系统(3)。在被加热并且被供给气体负载的反应室中，通过阴极中的放电，形成气体等离子体。液体或气体前体被准许进入与高电压能源(30)相关联的至少一个管状裂解室(20)中。可提供与电源(50)相关联的接收固体前体的至少一个管状溅射室(40)。在阳极(2)与所述管状室(20、40)中的一个或另一个之间施加电势差，以同时或单独地并且以任何次序地释放要对着金属零件(1)被离子轰击的合金元素。
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公开(公告)号：CN105393332B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201480040212.0
申请日：2014-07-15
Applicant: 惠而浦股份有限公司 , 圣卡塔琳娜州联邦大学
CPC classification number: B08B7/0035 , B22F3/003 , B22F3/24 , B22F2003/241 , B22F2003/248 , H01J37/32009 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32834 , H01J37/32889 , H01J37/32899 , H01J2237/335 , H01L21/67109 , H01L21/67173 , H01L21/6719
Abstract: 本申请公开了一种等离子体反应器，包括反应腔室(23)，该反应腔室与可离子化气体源(25)和加热装置(80)可连接，所述反应器(10)进行加热阶段(A)、清洁阶段(L)和/或表面处理阶段(S)、冷却阶段(R)、以及金属零件的卸载阶段(D)和装载阶段(C)。设备包括：至少两个反应器(10)，各反应器可选择地和交替地与相同的可离子化气体源(25)、相同的真空源(60)、相同的电能量源(50)和相同的加热装置(80)连接，该加热装置(80)可在操作位置之间移动，在各操作位置中，它在侧部和上部包围设备的相应反应器(10)，同时所述反应器处于加热阶段(A)以及金属零件(1)的清洁阶段(L)和/或表面处理阶段(S)中。
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公开(公告)号：CN105393332A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201480040212.0
申请日：2014-07-15
Applicant: 惠而浦股份有限公司 , 圣卡塔琳娜州联邦大学
CPC classification number: B08B7/0035 , B22F3/003 , B22F3/24 , B22F2003/241 , B22F2003/248 , H01J37/32009 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32834 , H01J37/32889 , H01J37/32899 , H01J2237/335 , H01L21/67109 , H01L21/67173 , H01L21/6719
Abstract: 本申请公开了一种等离子体反应器，包括反应腔室(23)，该反应腔室与可离子化气体源(25)和加热装置(80)可连接，所述反应器(10)进行加热阶段(A)、清洁阶段(L)和/或表面处理阶段(S)、冷却阶段(R)、以及金属零件的卸载阶段(D)和装载阶段(C)。设备包括：至少两个反应器(10)，各反应器可选择地和交替地与相同的可离子化气体源(25)、相同的真空源(60)、相同的电能量源(50)和相同的加热装置(80)连接，该加热装置(80)可在操作位置之间移动，在各操作位置中，它在侧部和上部包围设备的相应反应器(10)，同时所述反应器处于加热阶段(A)以及金属零件(1)的清洁阶段(L)和/或表面处理阶段(S)中。
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公开(公告)号：CN107002228A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580063209.5
申请日：2015-10-19
Applicant: 圣卡塔琳娜州联邦大学
Abstract: 反应器(R)具有反应室(RC)，该反应室(RC)设有用于金属零件(1)的支撑体(S)并且设有与接地(2b)连接的阳极系统(2)和与支撑体(S)并且与脉动DC电源(10)连接的阴极系统(3)。在被加热并且被供给气体负载的反应室(RC)中，通过阴极(3)中的放电，形成气体等离子体。液体或气体前体被准许进入与高电压能源(30)相关联的至少一个管状裂解室(20)中。可提供与电源(50)相关联的接收固体前体的至少一个管状溅射室(40)。在阳极(2)与所述管状室(20、40)中的一个或另一个之间施加电势差，以同时或单独地并且以任何次序地释放要对着金属零件(1)被离子轰击的合金元素。
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公开(公告)号：CN107002228B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201580063209.5
申请日：2015-10-19
Applicant: 圣卡塔琳娜州联邦大学
Abstract: 反应器(R)具有反应室(RC)，该反应室(RC)设有用于金属零件(1)的支撑体(S)并且设有与接地(2b)连接的阳极系统(2)和与支撑体(S)并且与脉动DC电源(10)连接的阴极系统(3)。在被加热并且被供给气体负载的反应室(RC)中，通过阴极(3)中的放电，形成气体等离子体。液体或气体前体被准许进入与高电压能源(30)相关联的至少一个管状裂解室(20)中。可提供与电源(50)相关联的接收固体前体的至少一个管状溅射室(40)。在阳极(2)与所述管状室(20、40)中的一个或另一个之间施加电势差，以同时或单独地并且以任何次序地释放要对着金属零件(1)被离子轰击的合金元素。
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