公开(公告)号：CN103710680A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310467148.1

申请日：2013-10-09

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  朴钟世 ,  刘泳祚 ,  李柱永 ,  金序炫 ,  尹根尚 ,  金荣云 ,  申亨秀 ,  尹承镐 ,  李相度 ,  李相益 ,  任相俊

IPC: C23C16/40

CPC classification number: H01B1/08 ,  C03C17/245 ,  C03C2217/216 ,  C23C16/407 ,  C23C16/448 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 氧化锌（ZnO）前驱体和利用该前驱体沉积ZnO类薄膜的方法，使用该ZnO前驱体可以沉积高质量和高纯度的ZnO类薄膜。所述ZnO前驱体包括混合溶剂和源材料，所述混合溶剂包含混合的至少两种有机溶剂，所述源材料包括稀释在所述混合溶剂内的二乙基锌或二甲基锌。

公开(公告)号：CN103122454A

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN201210469711.4

申请日：2012-11-19

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  朴兑正 ,  刘泳祚 ,  尹根尚 ,  崔殷豪 ,  金荣云 ,  金保京 ,  申亨秀 ,  尹承镐 ,  李相度 ,  李相益 ,  任相俊

IPC: C23C16/40 ,  C07F17/00

CPC classification number: C07F3/06 ,  C07F17/00 ,  C23C16/407

Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或CnH2n+1。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。

公开(公告)号：CN103122453A

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN201210467947.4

申请日：2012-11-19

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  朴兑正 ,  刘泳祚 ,  尹根尚 ,  崔殷豪 ,  金荣云 ,  金保京 ,  申亨秀 ,  尹承镐 ,  李相度 ,  李相益 ,  任相俊

IPC: C23C16/40

CPC classification number: C07F3/06 ,  C23C16/08 ,  C23C16/407

Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。卤素基团包括选自F、Br、Cl和I中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。

公开(公告)号：CN103122453B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201210467947.4

申请日：2012-11-19

Applicant: 康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  朴兑正 ,  刘泳祚 ,  尹根尚 ,  崔殷豪 ,  金荣云 ,  金保京 ,  申亨秀 ,  尹承镐 ,  李相度 ,  李相益 ,  任相俊

IPC: C23C16/40

CPC classification number: C07F3/06 ,  C23C16/08 ,  C23C16/407

Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。卤素基团包括选自F、Br、Cl和I中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。

公开(公告)号：CN103122454B

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201210469711.4

申请日：2012-11-19

Applicant: 康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  朴兑正 ,  刘泳祚 ,  尹根尚 ,  崔殷豪 ,  金荣云 ,  金保京 ,  申亨秀 ,  尹承镐 ,  李相度 ,  李相益 ,  任相俊

IPC: C23C16/40 ,  C07F17/00

CPC classification number: C07F3/06 ,  C07F17/00 ,  C23C16/407

Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或CnH2n+1。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。