公开(公告)号：CN103710680A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310467148.1

申请日：2013-10-09

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  朴钟世 ,  刘泳祚 ,  李柱永 ,  金序炫 ,  尹根尚 ,  金荣云 ,  申亨秀 ,  尹承镐 ,  李相度 ,  李相益 ,  任相俊

IPC: C23C16/40

CPC classification number: H01B1/08 ,  C03C17/245 ,  C03C2217/216 ,  C23C16/407 ,  C23C16/448 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 氧化锌（ZnO）前驱体和利用该前驱体沉积ZnO类薄膜的方法，使用该ZnO前驱体可以沉积高质量和高纯度的ZnO类薄膜。所述ZnO前驱体包括混合溶剂和源材料，所述混合溶剂包含混合的至少两种有机溶剂，所述源材料包括稀释在所述混合溶剂内的二乙基锌或二甲基锌。