公开(公告)号：CN102194901A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110042827.5

申请日：2011-02-21

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 金镇奭 ,  刘泳祚 ,  金序炫

IPC: H01L31/036 ,  H01L31/0392 ,  H01G9/20 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/1884 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/03925 ,  Y02E10/541

Abstract: 一种光电池基板和包括所述光电池基板的光电池。所述光电池基板包括透明基板和形成在所述透明基板上的透明导电膜。所述透明导电膜包括掺杂有掺杂剂的氧化锌薄膜层，且根据X射线衍射(XRD)数据，(0002)生长平面和生长平面均存在于氧化锌薄膜层中。

公开(公告)号：CN103849854A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310625110.2

申请日：2013-11-28

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 尹根尚 ,  金序炫 ,  李铉熙 ,  刘泳祚

IPC: C23C16/40

CPC classification number: C23C14/0036 ,  C23C16/407 ,  C23C16/44

Abstract: 一种制备氧化锌（ZnO）薄膜的方法，其中ZnO薄膜的表面形状可在ZnO薄膜的沉积过程中得到控制。该方法包括：通过化学气相沉积法（CVD）在基板上沉积ZnO薄膜。CVD在供应源气体和氧化剂气体的同时，供应蚀刻ZnO薄膜的蚀刻气体，从而控制正在沉积的氧化锌薄膜的表面形状。

公开(公告)号：CN103258865A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310055360.7

申请日：2013-02-21

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  朴峻亨 ,  朴兑正 ,  白逸姬 ,  刘泳祚 ,  尹根尚 ,  李铉熙 ,  崔殷豪

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18 ,  H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L31/02366 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/03925 ,  H01L31/1884 ,  H01L51/0001 ,  H01L51/0096 ,  H01L51/442 ,  H01L51/447 ,  H01L51/5209 ,  H01L51/5268 ,  H01L2251/305 ,  Y02E10/541 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521 ,  Y10T428/24364

Abstract: 具有高雾度值的氧化物薄膜基板、它的制造方法及包括它的光伏电池和有机发光器件。所述氧化物薄膜基板包括在它的表面上具有第一纹理的基底基板和在所述基底基板上形成的透明氧化物薄膜。所述透明氧化物薄膜在它的表面上具有第二纹理。

公开(公告)号：CN103710680A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310467148.1

申请日：2013-10-09

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  朴钟世 ,  刘泳祚 ,  李柱永 ,  金序炫 ,  尹根尚 ,  金荣云 ,  申亨秀 ,  尹承镐 ,  李相度 ,  李相益 ,  任相俊

IPC: C23C16/40

CPC classification number: H01B1/08 ,  C03C17/245 ,  C03C2217/216 ,  C23C16/407 ,  C23C16/448 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 氧化锌（ZnO）前驱体和利用该前驱体沉积ZnO类薄膜的方法，使用该ZnO前驱体可以沉积高质量和高纯度的ZnO类薄膜。所述ZnO前驱体包括混合溶剂和源材料，所述混合溶剂包含混合的至少两种有机溶剂，所述源材料包括稀释在所述混合溶剂内的二乙基锌或二甲基锌。

公开(公告)号：CN103579524A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310322392.9

申请日：2013-07-29

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 金序炫 ,  尹根尚 ,  李铉熙 ,  刘泳祚

IPC: H01L51/52 ,  H01L51/56 ,  H01L51/44 ,  H01L51/48

CPC classification number: H01L51/442 ,  H01L31/022466 ,  H01L51/0021 ,  H01L51/5215 ,  H01L2251/306 ,  H01L2251/308 ,  Y02E10/549 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24926

Abstract: 具有高水平表面平整度的透明传导氧化物薄膜基板、该基板的制造方法、以及具有该基板的OLED和光电池。该透明传导氧化物薄膜基板包含基底基板、在该基底基板上形成的第一透明传导氧化物薄膜、以及在该第一透明传导氧化物薄膜上形成的第二透明传导氧化物薄膜，上述第一透明传导氧化物薄膜用第一掺杂剂处理。上述第二透明传导氧化物薄膜用比上述第一掺杂剂浓度高的第二掺杂剂处理。上述第二透明传导氧化物薄膜的表面比上述第一透明传导氧化物薄膜的表面更平。

公开(公告)号：CN103515541A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310252902.X

申请日：2013-06-24

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 刘泳祚 ,  朴峻亨 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  李柱永

IPC: H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/52 ,  H01L51/5268 ,  H01L51/56 ,  H01L51/5275

Abstract: 用于有机发光装置(OLED)的基板和它的制造方法，其中，可改善所述OLED的光提取效率和加工效率。所述用于OLED的基板包括基底基板、涂布所述基底基板的一个表面的第一金属氧化物薄膜、涂布所述基底基板的另一个表面的第二金属氧化物薄膜及涂布所述第二金属氧化物薄膜的表面的第三金属氧化物薄膜，所述第一金属氧化物薄膜在它的表面上具有第一纹理。

公开(公告)号：CN103122454A

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN201210469711.4

申请日：2012-11-19

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  朴兑正 ,  刘泳祚 ,  尹根尚 ,  崔殷豪 ,  金荣云 ,  金保京 ,  申亨秀 ,  尹承镐 ,  李相度 ,  李相益 ,  任相俊

IPC: C23C16/40 ,  C07F17/00

CPC classification number: C07F3/06 ,  C07F17/00 ,  C23C16/407

Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或CnH2n+1。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。

公开(公告)号：CN103122453A

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN201210467947.4

申请日：2012-11-19

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 朴洙昊 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  朴兑正 ,  刘泳祚 ,  尹根尚 ,  崔殷豪 ,  金荣云 ,  金保京 ,  申亨秀 ,  尹承镐 ,  李相度 ,  李相益 ,  任相俊

IPC: C23C16/40

CPC classification number: C07F3/06 ,  C23C16/08 ,  C23C16/407

Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。卤素基团包括选自F、Br、Cl和I中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。

公开(公告)号：CN102820373A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201210118631.4

申请日：2012-04-20

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 刘泳祚 ,  金序炫 ,  尹根尚

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0352

CPC classification number: H01L31/022483 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/1888 ,  Y02E10/50

Abstract: 一种制造用于光伏电池的基板的方法，在所述基板内可在长波长范围内保持能用于光伏电池的高光学特性，并同时提高雾度值。所述方法包含在透明基板上形成掺有掺杂剂的氧化锌(ZnO)薄膜层的步骤，和通过使用氢等离子体蚀刻氧化锌薄膜层来控制氧化锌薄膜层的表面结构的步骤。

公开(公告)号：CN102194902A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110042810.X

申请日：2011-02-21

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 柳济春 ,  刘泳祚 ,  金序炫 ,  金镇奭

IPC: H01L31/0392 ,  H01G9/20 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/022466 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 光电池基板包括透明基板和掺杂有掺杂剂的氧化锌薄膜层。氧化锌薄膜层形成在透明基板上。根据X射线衍射(XRD)数据，氧化锌薄膜层具有(0002)晶体平面和占(0002)晶体平面的3％或更高的晶体平面。