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公开(公告)号：CN103258865A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310055360.7
申请日：2013-02-21
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0236 , H01L31/18 , H01L51/52 , H01L51/56
CPC classification number: H01L31/02366 , H01L31/022466 , H01L31/022483 , H01L31/0392 , H01L31/03923 , H01L31/03925 , H01L31/1884 , H01L51/0001 , H01L51/0096 , H01L51/442 , H01L51/447 , H01L51/5209 , H01L51/5268 , H01L2251/305 , Y02E10/541 , Y02E10/549 , Y02P70/521 , Y10T428/24364
Abstract: 具有高雾度值的氧化物薄膜基板、它的制造方法及包括它的光伏电池和有机发光器件。所述氧化物薄膜基板包括在它的表面上具有第一纹理的基底基板和在所述基底基板上形成的透明氧化物薄膜。所述透明氧化物薄膜在它的表面上具有第二纹理。
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公开(公告)号：CN103490015B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201310233676.0
申请日：2013-06-13
Applicant: 康宁精密素材株式会社
CPC classification number: H01L51/5268 , B32B3/30 , B32B5/145 , B32B7/005 , Y10T428/24273 , Y10T428/24355 , Y10T428/24521 , Y10T428/24545 , Y10T428/24595 , Y10T428/24612 , Y10T428/2462
Abstract: 用于有机发光装置(OLED)的光提取基板及它的制造方法，所述用于有机发光装置的光提取基板通过改善光提取效率可改善应用OLED的显示器或照明系统的亮度。所述用于OLED的光提取基板包括形成在基板主体上的氧化物或氮化物薄膜。所述氧化物或氮化物薄膜包括形成在所述基板主体上的基层、形成在所述基层上的第一纹理和第二纹理，所述第一纹理具有多个从所述基层连续或不连续地伸出的第一突起物，所述第二纹理具有从所述第一突起物的每个外表面多个连续或不连续地伸出的第二突起物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103122454A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201210469711.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
CPC classification number: C07F3/06 , C07F17/00 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或CnH2n+1。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN103122453A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201210467947.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C07F3/06 , C23C16/08 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。卤素基团包括选自F、Br、Cl和I中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN103122453B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210467947.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 康宁精密素材株式会社
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C07F3/06 , C23C16/08 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。卤素基团包括选自F、Br、Cl和I中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN103122454B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201210469711.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 康宁精密素材株式会社
CPC classification number: C07F3/06 , C07F17/00 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或CnH2n+1。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN103490015A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310233676.0
申请日：2013-06-13
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
CPC classification number: H01L51/5268 , B32B3/30 , B32B5/145 , B32B7/005 , Y10T428/24273 , Y10T428/24355 , Y10T428/24521 , Y10T428/24545 , Y10T428/24595 , Y10T428/24612 , Y10T428/2462 , H01L51/5275
Abstract: 用于有机发光装置(OLED)的光提取基板及它的制造方法，所述用于有机发光装置的光提取基板通过改善光提取效率可改善应用OLED的显示器或照明系统的亮度。所述用于OLED的光提取基板包括形成在基板主体上的氧化物或氮化物薄膜。所述氧化物或氮化物薄膜包括形成在所述基板主体上的基层、形成在所述基层上的第一纹理和第二纹理，所述第一纹理具有多个从所述基层连续或不连续地伸出的第一突起物，所述第二纹理具有从所述第一突起物的每个外表面多个连续或不连续地伸出的第二突起物。
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