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公开(公告)号：CN107438898A
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201680020505.1
申请日：2016-04-06
Applicant: 康宁精密素材株式会社
IPC: H01L23/14 , H01L23/15 , H01L23/532
Abstract: 本发明涉及一种集成电路封装基底，更具体地，涉及一种通过改善用于将集成电路封装基底的上部和下部电连接的金属线与形成在集成电路封装基底内部的玻璃之间的粘合力来展现优异的导电性和可靠性的集成电路封装基底。为此，本发明提供了一种集成电路封装基底，所述集成电路封装基底包括：芯部，由玻璃制成；第一金属薄板，形成在芯部的上部上并由Cu制成；第二金属薄板，形成在芯部的下部并由Cu制成；金属线，以金属线穿过第一金属薄板、芯部和第二金属薄板以便将第一金属薄板和第二金属薄板电连接的形状形成，并由Cu制成；中间层，形成在金属线的外圆周表面上，其中，中间层包括Cu2O、用过渡金属掺杂的Cu2O以及包括Cu和过渡金属的金属氧化物中的任何一种。
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公开(公告)号：CN107206737A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680007007.3
申请日：2016-01-06
Applicant: 康宁精密素材株式会社
Abstract: 本发明涉及一种金属结合基底，更具体地讲，涉及一种显著改善彼此结合的非导电基底和金属层之间的结合力的金属结合基底。为此，本发明提供了一种金属结合基底，所述金属结合基底包括：基底；金属层，形成在基底上；自组装单分子层，形成在基底与金属层之间，并由化学连接基底和金属层的硅烷组成，其中，硅烷的端基由包含饱和或不饱和的杂原子的六元环的氨基硅烷组成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103122454A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201210469711.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
CPC classification number: C07F3/06 , C07F17/00 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或CnH2n+1。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN103122453A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201210467947.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C07F3/06 , C23C16/08 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。卤素基团包括选自F、Br、Cl和I中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN107438898B
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201680020505.1
申请日：2016-04-06
Applicant: 康宁精密素材株式会社
IPC: H01L23/14 , H01L23/15 , H01L23/532
Abstract: 本发明涉及一种集成电路封装基底，更具体地，涉及一种通过改善用于将集成电路封装基底的上部和下部电连接的金属线与形成在集成电路封装基底内部的玻璃之间的粘合力来展现优异的导电性和可靠性的集成电路封装基底。为此，本发明提供了一种集成电路封装基底，所述集成电路封装基底包括：芯部，由玻璃制成；第一金属薄板，形成在芯部的上部上并由Cu制成；第二金属薄板，形成在芯部的下部并由Cu制成；金属线，以金属线穿过第一金属薄板、芯部和第二金属薄板以便将第一金属薄板和第二金属薄板电连接的形状形成，并由Cu制成；中间层，形成在金属线的外圆周表面上，其中，中间层包括Cu2O、用过渡金属掺杂的Cu2O以及包括Cu和过渡金属的金属氧化物中的任何一种。
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公开(公告)号：CN103122453B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210467947.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 康宁精密素材株式会社
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C07F3/06 , C23C16/08 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。卤素基团包括选自F、Br、Cl和I中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN103122454B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201210469711.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 康宁精密素材株式会社
CPC classification number: C07F3/06 , C07F17/00 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或CnH2n+1。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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