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公开(公告)号：CN106170365A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201480008674.4
申请日：2014-01-14
申请人： 康宁激光技术有限公司
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/073
CPC分类号： C03B33/091 , B23K26/0006 , B23K26/0613 , B23K26/0624 , B23K26/0648 , B23K26/0676 , B23K26/0738 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , C03B33/0222 , Y02P40/57 , Y10T428/24355 , Y10T428/24471
摘要： 定义了一种对片状衬底(1)进行基于激光的加工以将衬底(1)分成多个部分的方法，其中用于加工衬底(1)的激光器的激光束(SR)被引导到衬底(1)上，其中利用被定位在激光器的光线路径中的光学装置(10，12)，沿着光束(SR)的方向所见，延伸的激光束焦线(2b，2c)从被引导到光学装置上的激光束中被形成在光学装置(10，12)的光束输出端上，相对于激光束焦线定位衬底(1)以使得沿着在光束(SR)的方向中所见的激光束焦线的延伸部分在衬底(1)的内部中的衬底(1)的材料中产生诱发吸收，从而使得材料改性沿着此延伸部分在衬底(1)的材料中发生。
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公开(公告)号：CN105209218A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480009759.4
申请日：2014-01-14
申请人： 康宁激光技术有限公司
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/0622 , B23K26/073 , B23K26/067 , C03B33/09 , B23K101/40
CPC分类号： C03B33/091 , B23K26/0006 , B23K26/0613 , B23K26/0624 , B23K26/0648 , B23K26/0676 , B23K26/0738 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , C03B33/0222 , Y02P40/57 , Y10T428/24355 , Y10T428/24471
摘要： 本申请涉及一种对平坦衬底(1)(尤其对晶片或玻璃元件)进行基于激光的加工以将该衬底分成多个部分的方法，其中用于加工衬底(1)的激光器(3)的激光束(2a，2b)被引导在衬底(1)处，该方法的特征在于：借助于被定位在激光器(3)的光束路径中的光学装置(6)，如沿着光束方向所观察的延伸的激光束焦线(2b)从照射到光学装置(6)上的激光束(2a)中被形成在光学装置(6)的光束输出端上，其中以这样的方式相对于激光束焦线(2b)定位衬底(1)以使沿着如在光束方向中所观察的延伸的激光束焦线(2b)的部分(2c)在衬底(1)的内部中的衬底的材料中产生诱发吸收，借助于此吸收，诱发的裂缝形成沿着所述延伸部分(2c)在衬底的材料中发生。
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公开(公告)号：CN105209218B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201480009759.4
申请日：2014-01-14
申请人： 康宁激光技术有限公司
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/0622 , B23K26/073 , B23K26/067 , C03B33/09 , B23K101/40
CPC分类号： C03B33/091 , B23K26/0006 , B23K26/0613 , B23K26/0624 , B23K26/0648 , B23K26/0676 , B23K26/0738 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , C03B33/0222 , Y02P40/57 , Y10T428/24355 , Y10T428/24471
摘要： 本申请涉及一种对平坦衬底(1)(尤其对晶片或玻璃元件)进行基于激光的加工以将该衬底分成多个部分的方法，其中用于加工衬底(1)的激光器(3)的激光束(2a，2b)被引导在衬底(1)处，该方法的特征在于：借助于被定位在激光器(3)的光束路径中的光学装置(6)，如沿着光束方向所观察的延伸的激光束焦线(2b)从照射到光学装置(6)上的激光束(2a)中被形成在光学装置(6)的光束输出端上，其中以这样的方式相对于激光束焦线(2b)定位衬底(1)以使沿着如在光束方向中所观察的延伸的激光束焦线(2b)的部分(2c)在衬底(1)的内部中的衬底的材料中产生诱发吸收，借助于此吸收，诱发的裂缝形成沿着所述延伸部分(2c)在衬底的材料中发生。
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