对平坦衬底进行基于激光的加工的方法和设备
摘要:
本申请涉及一种对平坦衬底(1)(尤其对晶片或玻璃元件)进行基于激光的加工以将该衬底分成多个部分的方法,其中用于加工衬底(1)的激光器(3)的激光束(2a,2b)被引导在衬底(1)处,该方法的特征在于:借助于被定位在激光器(3)的光束路径中的光学装置(6),如沿着光束方向所观察的延伸的激光束焦线(2b)从照射到光学装置(6)上的激光束(2a)中被形成在光学装置(6)的光束输出端上,其中以这样的方式相对于激光束焦线(2b)定位衬底(1)以使沿着如在光束方向中所观察的延伸的激光束焦线(2b)的部分(2c)在衬底(1)的内部中的衬底的材料中产生诱发吸收,借助于此吸收,诱发的裂缝形成沿着所述延伸部分(2c)在衬底的材料中发生。
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