用于丝网印刷的短热力曲线炉

    公开(公告)号:CN103227127A

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201310138894.6

    申请日:2009-05-29

    Inventor: A·巴希尼

    Abstract: 本发明涉及用于丝网印刷的短热力曲线炉。本发明提出了一种用于有效干燥基板表面的沉积材料的设备和方法。本文所述的设备和方法有益于移除基板表面上沉积材料的溶剂型材料。在一些情况下,所述材料可以丝网印刷工艺沉积而得。在一个实施例中,丝网印刷腔室适应于在结晶硅基板上沉积图案化材料,接着在干燥腔室中干燥沉积材料。在一个实施例中,丝网印刷腔室和干燥腔室均设在旋转线工具或购自Baccini S.p.A.的SoftlineTM工具内,所述Baccini S.p.A.为美国加州圣克拉拉的应用材料公司所拥有。

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