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公开(公告)号:CN112103230A
公开(公告)日:2020-12-18
申请号:CN202011103729.3
申请日:2014-12-02
Applicant: 应用材料意大利有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/673 , H01L31/18
Abstract: 本公开提供一种用于在用于生产太阳能电池的基板(10)上进行印刷的装置(100)。所述装置(100)包括两个或更多个工艺站(110);至少一个基板支撑件(120),配置成支撑所述基板(10);以及至少一个传输设备(130),配置成在水平方向(300)且在竖直方向(310)上传输所述至少一个基板支撑件(120),以便在所述两个或更多个工艺站(110)之间传输所述至少一个基板支撑件(120)。
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公开(公告)号:CN107735868B
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201680002161.1
申请日:2016-05-06
Applicant: 应用材料意大利有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/683 , H01L31/0224 , H01L31/05 , B65G49/07
Abstract: 本公开提供了一种用于制造至少两个太阳能电池布置的设备(100)。所述设备(100)包括:分离装置(110),所述分离装置被配置为用于将第一太阳能电池(10)分为两个或多个第一太阳能电池太阳能电池件(11、12);和至少一个定位装置(120),所述定位装置被配置为用于将所述两个或多个第一太阳能电池件(11、12)的至少一个第一太阳能电池件(11)定位在支撑装置(130)上以便形成所述至少两个太阳能电池布置的第一太阳能电池布置并且用于将所述两个或多个第一太阳能电池件(11、12)的至少一个其他第一太阳能电池件(12)定位在所述支撑装置(130)上以便形成所述至少两个太阳能电池布置的第二太阳能电池布置。
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公开(公告)号:CN107735868A
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201680002161.1
申请日:2016-05-06
Applicant: 应用材料意大利有限公司
Abstract: 本公开提供了一种用于制造至少两个太阳能电池布置的设备(100)。所述设备(100)包括:分离装置(110),所述分离装置被配置为用于将第一太阳能电池(10)分为两个或多个第一太阳能电池太阳能电池件(11、12);和至少一个定位装置(120),所述定位装置被配置为用于将所述两个或多个第一太阳能电池件(11、12)的至少一个第一太阳能电池件(11)定位在支撑装置(130)上以便形成所述至少两个太阳能电池布置的第一太阳能电池布置并且用于将所述两个或多个第一太阳能电池件(11、12)的至少一个其他第一太阳能电池件(12)定位在所述支撑装置(130)上以便形成所述至少两个太阳能电池布置的第二太阳能电池布置。
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公开(公告)号:CN107346758A
公开(公告)日:2017-11-14
申请号:CN201710523162.7
申请日:2016-05-06
Applicant: 应用材料意大利有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/683 , H01L31/18
Abstract: 本公开提供了一种用于在运输方向(911)上输送至少一个太阳能电池元件(910)的支撑装置(900),其中所述支撑装置包括:支撑元件(920),所述支撑元件被配置为支撑所述至少一个太阳能电池元件;和电布置(950),所述电布置被配置为提供静电力,用于将所述至少一个太阳能电池元件固定在所述支撑元件上。
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公开(公告)号:CN103227127A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201310138894.6
申请日:2009-05-29
Applicant: 应用材料意大利有限公司
Inventor: A·巴希尼
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67115 , H01L21/67109 , H01L21/67715 , H01L21/67718 , H01L21/6776
Abstract: 本发明涉及用于丝网印刷的短热力曲线炉。本发明提出了一种用于有效干燥基板表面的沉积材料的设备和方法。本文所述的设备和方法有益于移除基板表面上沉积材料的溶剂型材料。在一些情况下,所述材料可以丝网印刷工艺沉积而得。在一个实施例中,丝网印刷腔室适应于在结晶硅基板上沉积图案化材料,接着在干燥腔室中干燥沉积材料。在一个实施例中,丝网印刷腔室和干燥腔室均设在旋转线工具或购自Baccini S.p.A.的SoftlineTM工具内,所述Baccini S.p.A.为美国加州圣克拉拉的应用材料公司所拥有。
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公开(公告)号:CN102271918A
公开(公告)日:2011-12-07
申请号:CN200980124385.X
申请日:2009-05-29
Applicant: 应用材料意大利有限公司
Inventor: A·巴希尼
CPC classification number: B41F15/18 , B41F15/26 , B65H5/04 , B65H5/224 , B65H9/12 , B65H11/007 , B65H2402/351 , B65H2404/2571 , B65H2404/2693 , B65H2404/285 , B65H2406/32 , H01L21/67207 , H01L21/67748 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H05K3/0008 , H05K3/1216 , H05K2201/09918 , H05K2201/10151 , H05K2203/0165
Abstract: 本发明提出用于处理丝网印刷腔室(102)的基板(150)的设备和方法,藉以传送一或多个处理基板上的可重复与精确丝网印刷图案。在一实施例中,丝网印刷腔室用来进行部分结晶硅太阳能电池生产线的丝网印刷工艺,其中基板以预定材料图案化。在一实施例中,丝网印刷腔室为处理腔室,设在旋转线工具或取自Baccini S.p.A.的SoftlineTM工具内,其为美国加州圣克拉拉的应用材料公司所拥有。
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公开(公告)号:CN112018012A
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN202011102470.0
申请日:2014-12-02
Applicant: 应用材料意大利有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/673 , H01L31/18
Abstract: 本公开提供一种用于在用于生产太阳能电池的基板(10)上进行印刷的装置(100)。所述装置(100)包括两个或更多个工艺站(110);至少一个基板支撑件(120),配置成支撑所述基板(10);以及至少一个传输设备(130),配置成在水平方向(300)且在竖直方向(310)上传输所述至少一个基板支撑件(120),以便在所述两个或更多个工艺站(110)之间传输所述至少一个基板支撑件(120)。
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公开(公告)号:CN107346756A
公开(公告)日:2017-11-14
申请号:CN201710525196.X
申请日:2016-05-06
Applicant: 应用材料意大利有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/683 , H01L31/18
CPC classification number: H01L21/68 , H01L21/67271 , H01L21/6833 , H01L31/18
Abstract: 一种用于制造太阳能电池件的至少两个布置的设备(100)。所述设备(100)包括:至少一个定位装置(120),所述定位装置被配置为用于将所述两个或更多个太阳能电池件(11、12)定位在支撑装置(130)上以便形成所述至少两个布置,其中,所述设备(100)配置为基于所述两个或更多个太阳能电池件(11、12)的一种或多种性质来将所述两个或更多个太阳能电池件(11、12)分配给所述至少两个布置的相应布置。
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公开(公告)号:CN106104818B
公开(公告)日:2021-02-09
申请号:CN201480076871.X
申请日:2014-12-02
Applicant: 应用材料意大利有限公司
IPC: H01L31/18
Abstract: 本公开提供一种用于处理基板的太阳能电池生产装置。所述太阳能电池生产装置包括:至少一个基板支撑件(12),经配置以支持所述基板(10);一个或多个印刷站(11),经配置以供在定位于所述基板支撑件(12)上的所述基板(10)上形成印刷结构;及检查系统,包括至少一个第一相机(180),其中所述至少一个第一相机(180)经配置,以在所述基板经过所述至少一个第一相机(180)的视场时,检测定位于所述基板支撑件(12)上的所述基板(10)上的所述印刷结构的位置。
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公开(公告)号:CN112018014A
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN202011102488.0
申请日:2014-12-02
Applicant: 应用材料意大利有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/673 , H01L31/18
Abstract: 本公开提供一种用于在用于生产太阳能电池的基板(10)上进行印刷的装置(100)。所述装置(100)包括两个或更多个工艺站(110);至少一个基板支撑件(120),配置成支撑所述基板(10);以及至少一个传输设备(130),配置成在水平方向(300)且在竖直方向(310)上传输所述至少一个基板支撑件(120),以便在所述两个或更多个工艺站(110)之间传输所述至少一个基板支撑件(120)。
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