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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101432856B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780015187.0
申请日：2007-06-04
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/311
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/67201 , Y10S414/135 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明揭露一种用以处理基板的新式设备。具有4个环境隔离室的多层式负载锁定室系与具有机械组件的传送室接合。机械组件具有二个臂手，当机械组件顺着其轴转动时，各个臂手可水平地以及垂直地移动。臂手可延伸到负载锁定室的隔离室中而自下方隔离室接收基板、传送基板至处理室、接着将基板放置到上方隔离室。负载锁定室中的隔离室可具有枢接盖，其可打开以进入隔离室内部。
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公开(公告)号：CN102349145A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201080011814.5
申请日：2010-01-08
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/6833 , H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/6831 , H01L21/68707 , Y10S414/141 , Y10S901/30 , Y10S901/40
Abstract: 提供了用于在电子装置制造系统的系统部件间传送基板的系统、设备与方法。该系统与设备包括静电末端执行器，该静电末端执行器具有基底；位于该基底上的电极对；以及间隔物构件，该间隔物构件用于隔开该基板与该电极对，以在该电极对和该基板间提供间隙。提供了本发明的方法以及许多其它方面。
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公开(公告)号：CN102341901B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201080010832.1
申请日：2010-01-08
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , B25J15/08
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/68707
Abstract: 提供了用于在电子元件制造中移动基板的系统、方法及设备。在一些方面中，提供了具有基座部分及至少三个垫的末端执行器。每个所述垫的具有一个接触表面，且至少一个接触表面具有曲面形状。由末端执行器所支撑的基板可以相对高的横向惯性力移动，而不会相对于垫产生大幅度滑动。本发明还提供了附加的方面。
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公开(公告)号：CN102341901A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201080010832.1
申请日：2010-01-08
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , B25J15/08
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/68707
Abstract: 提供了用于在电子元件制造中移动基板的系统、方法及设备。在一些方面中，提供了具有基座部分及至少三个垫的末端执行器。每个所述垫的具有一个接触表面，且至少一个接触表面具有曲面形状。由末端执行器所支撑的基板可以相对高的横向惯性力移动，而不会相对于垫产生大幅度滑动。本发明还提供了附加的方面。
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公开(公告)号：CN102349145B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201080011814.5
申请日：2010-01-08
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/6833 , H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/6831 , H01L21/68707 , Y10S414/141 , Y10S901/30 , Y10S901/40
Abstract: 提供了用于在电子装置制造系统的系统部件间传送基板的系统、设备与方法。该系统与设备包括静电末端执行器，该静电末端执行器具有基底；位于该基底上的电极对；以及间隔物构件，该间隔物构件用于隔开该基板与该电极对，以在该电极对和该基板间提供间隙。提供了本发明的方法以及许多其它方面。
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