公开(公告)号：CN102341901B

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：CN201080010832.1

申请日：2010-01-08

Applicant: 应用材料公司

Inventor： P·R·琴恩塔拉帕蒂 ,  S·桑德 ,  B·阿莱克斯洛德 ,  M·D·塞法堤 ,  T·K·赵 ,  J·A·布洛迪尼 ,  J·K·福斯特 ,  E·吴

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J15/08

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/68707

Abstract: 提供了用于在电子元件制造中移动基板的系统、方法及设备。在一些方面中，提供了具有基座部分及至少三个垫的末端执行器。每个所述垫的具有一个接触表面，且至少一个接触表面具有曲面形状。由末端执行器所支撑的基板可以相对高的横向惯性力移动，而不会相对于垫产生大幅度滑动。本发明还提供了附加的方面。

公开(公告)号：CN102341901A

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN201080010832.1

申请日：2010-01-08

Applicant: 应用材料公司

Inventor： P·R·琴恩塔拉帕蒂 ,  S·桑德 ,  B·阿莱克斯洛德 ,  M·D·塞法堤 ,  T·K·赵 ,  J·A·布洛迪尼 ,  J·K·福斯特 ,  E·吴

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J15/08

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/68707

Abstract: 提供了用于在电子元件制造中移动基板的系统、方法及设备。在一些方面中，提供了具有基座部分及至少三个垫的末端执行器。每个所述垫的具有一个接触表面，且至少一个接触表面具有曲面形状。由末端执行器所支撑的基板可以相对高的横向惯性力移动，而不会相对于垫产生大幅度滑动。本发明还提供了附加的方面。