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公开(公告)号：CN101432856B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780015187.0
申请日：2007-06-04
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/311
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/67201 , Y10S414/135 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明揭露一种用以处理基板的新式设备。具有4个环境隔离室的多层式负载锁定室系与具有机械组件的传送室接合。机械组件具有二个臂手，当机械组件顺着其轴转动时，各个臂手可水平地以及垂直地移动。臂手可延伸到负载锁定室的隔离室中而自下方隔离室接收基板、传送基板至处理室、接着将基板放置到上方隔离室。负载锁定室中的隔离室可具有枢接盖，其可打开以进入隔离室内部。
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