公开(公告)号：CN114846595A

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202080088501.3

申请日：2020-11-11

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·凯德拉亚 ,  阮芳 ,  黄祖滨 ,  G·巴拉苏布拉马尼恩 ,  K·阿拉亚瓦里 ,  M·西蒙斯 ,  K·李 ,  R·纳拉亚南 ,  K·嘉纳基拉曼

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/31

Abstract: 一种系统可以包括：主线路，用于递送第一气体；以及传感器，用于测量被递送通过主线路的第一气体中的前驱物的浓度。系统可以进一步包括：第一子线路和第二子线路，分别用于提供通往第一处理腔室和第二处理腔室的流体通路。第一子线路可以包括：第一流量控制器，用于控制流动通过第一子线路的第一气体。第二子线路可以包括：第二流量控制器，用于控制流动通过第二子线路的第一气体。可以将递送控制器配置为基于前驱物的测量到的浓度来控制第一流量控制器和第二流量控制器，以将第一气体与第二气体的第一混合物和第一气体与第二气体的第二混合物分别递送到第一半导体处理腔室和第二半导体处理腔室中。