公开(公告)号：CN116711057A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202180090593.3

申请日：2021-12-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·C·查克拉瓦希 ,  C·尼马 ,  A·A·坎古德 ,  E·内维尔 ,  V·S·贾姆卡恩迪 ,  K·R·朗厄兰 ,  S·A·阿拉姆 ,  徐明 ,  K·勒

IPC: H01L21/67

Abstract: 示例性基板处理系统可以包括盖板。所述系统可包括安置在盖板上的气体分流器。气体分流器可限定多个气体入口和气体出口。气体出口的数量可以大于气体入口的数量。所述系统可包括与气体分流器对接的多个阀块。每个阀块可以限定多个气体管腔。气体管腔中的每一者的入口可以与气体出口中的一者流体连通。气体分流器和每个阀块之间的界面可以包括扼流器。所述系统可包括安置在盖板上的多个输出歧管。所述系统可以包括多个输出焊件，其可以将气体管腔中的一者的出口与输出歧管中的一者耦合。

公开(公告)号：CN118369754A

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202280081955.7

申请日：2022-10-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·R·B·拉吉 ,  K·加里基帕蒂 ,  S·A·阿拉姆 ,  K·R·朗厄兰

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/455

Abstract: 示例性模块化气体输送组件可包括耦接在一起的多个模块化气体区块。各气体区块可包括上部和下部。所述上部的第一端可延伸超过所述下部的第一端，并且所述下部的第二端可延伸超过所述上部的第二端。第一流体通道可包括第一流体口、第二流体口、和第三流体口。所述区块主体可界定第二流体通道，所述第二流体通道横向于所述第一流体通道延伸。第一模块化气体区块可与第二模块化气体区块和第三模块化气体区块耦接，使得所述第一模块化气体区块、所述第二模块化气体区块、和所述第三模块化气体区块中的每一者的所述第一流体通道彼此流体耦接。

公开(公告)号：CN119096006A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202380036181.0

申请日：2023-03-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·R·B·拉杰 ,  K·加里基帕蒂 ,  K·R·朗厄兰 ,  S·A·阿拉姆

IPC: C23C16/455

Abstract: 示例性模块化气体区块可包括具有入口端和出口端的主体。主体可限定沿着主体的长度的第一气体路径的部分，并且可限定沿着主体的宽度的第二气体路径。第一气体路径可包括被限定在主体内的通道段。入口端可限定与第一气体路径耦合的气体入口。主体可限定与第一气体路径耦合的第一流体端口。第一流体端口中的流体端口可与气体入口耦合。第一流体端口可经由相应的通道段彼此耦合。上表面可限定横向流体端口，所述横向流体端口沿着宽度与第一流体端口间隔开，并且经由第二气体路径与第一流体端口耦合。