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公开(公告)号：CN119137451A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202380032532.0
申请日：2023-01-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 斯里坎特·克里希纳穆提 , 徐明 , 阿什利·M·奥卡达
Abstract: 本公开内容的某些实施例涉及一种传感器组件，该传感器组件包括壳体，该壳体具有第一通道和第二通道，该第一通道被配置为使气体在第一方向上流动，该第二通道被配置为使该气体在第二方向上流动。该壳体被配置为与气流组件耦接。壳体内设置了基板。该基板具有外部区域、内部区域和中间区域，该内部区域位于该第一通道内，该中间区域介于该外部区域与该内部区域之间。该基板进一步包括至少位于该内部区域上的电接触垫。传感器裸片与该基板的该内部区域耦接，并具有与所述电接触垫的电连接。该传感器裸片设置在该第一通道的气流路径内。
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公开(公告)号：CN116382391A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310234984.9
申请日：2020-07-24
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05D27/02
Abstract: 本文揭露了一种用于控制气体的流率的设备，包含经配置以限制气体的流率的流量限制元件；耦合到流量限制元件的入口的压力调节器，其中该压力调节器经配置以控制压力调节器和流量限制元件之间的气体压力；耦合至流量限制元件的出口的流量计，其中该流量计经配置以测量流量限制元件的出口处的气体的流率；和操作性地耦合至压力调节器和流量计的控制器，其中该控制器接收流量计的流率测量值、确定与目标流率相关联的压力设定、并使压力调节器具有压力设定。
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公开(公告)号：CN119731514A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202380032536.9
申请日：2023-01-23
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿尔温德·曼莫汉·辛格·查达 , 阿什利·M·奥卡达 , 斯里坎特·克里希纳穆提 , 徐明
Abstract: 本公开内容的某些实施例涉及一种传感器组件，该传感器组件包括基板、壳体和传感器裸片。在某些实施例中，该基板包括外部区域、内部区域和介于该外部区域与该内部区域之间的中间区域。在某些实施例中，该基板包括至少位于该内部区域上的电接触垫。在某些实施例中，该壳体在该中间区域或该外部区域处与该基板耦接，以提供气密密封。在某些实施例中，该传感器裸片经由所述电接触垫在该内部区域处与该基板耦接。该传感器裸片经由对准特征与该基板对准，所述对准特征使该传感器裸片相对于该基板在第一平面或第二平面中的至少一者内对准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118871618A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202380027064.8
申请日：2023-01-11
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , H01L21/67 , H01L21/02
Abstract: 一种用于处理腔室的莲蓬头包括具有多个开口的面板。多个隔室凹陷到该面板的顶表面中。该莲蓬头包括多个MEMS设备。每个MEMS设备设置在所述多个隔室中的对应隔室中。印刷电路板耦接到每个MEMS设备，所述印刷电路板包括通过其中的多个端口。每个MEMS设备被配置为调节通过该印刷电路板的该多个端口中的对应端口而流入每个对应隔室的气体流量。
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公开(公告)号：CN116670467A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180050413.9
申请日：2021-09-16
Applicant: 应用材料公司
IPC: G01F15/00
Abstract: 本文公开了质量流量控制设备、整合该质量流量控制设备的系统，及使用该质量流量控制设备的方法的实施方式。在一个实施方式中，质量流量控制设备包含：流量调节阀，被构造为调节气体流动通道中的气体流动；传感器装置，诸如微电机(MEMS)装置，被构造为响应于气体流动的状态来产生信号；以及处理装置，可操作地耦接到流量调节阀及传感器装置，以基于从传感器装置接收的信号来控制流量调节阀。
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公开(公告)号：CN117222869A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202280031511.2
申请日：2022-05-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 斯里坎特·克里希纳穆提 , 徐明 , 阿什利·M·奥卡达 , 拉马钱德拉·穆尔蒂·贡图瑞 , 维贾伊·帕克赫
IPC: G01F1/7086
Abstract: 本文揭示了传感器组件、其制造方法、及其使用方法的实施方式。在一个实施方式中，传感器组件包含基板，所述基板包含外部区域、内部区域、及在外部区域与内部区域之间定位的中间区域，基板进一步包含在至少内部区域上的电气接触垫。传感器组件进一步包含在外部区域处或在中间区域处耦接到基板以形成气密密封的外壳。传感器组件进一步包含在内部区域处经由电气接触垫耦接到基板的传感器装置。在某些实施方式中，传感器组件进一步包含在传感器组件的至少一部分上沉积的保形涂层。
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公开(公告)号：CN113544420B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202080019628.X
申请日：2020-02-27
Applicant: 应用材料公司
IPC: F16K31/126 , F16K27/02
Abstract: 隔膜阀包括入口端口、出口端口、及靠近入口端口或出口端口中的一者的阀座。隔膜相对于阀座来定位并且具有打开状态，在打开状态中隔膜与阀座间隔开，以启用在入口端口与出口端口之间的流体路径。隔膜具有关闭状态，在关闭状态中隔膜位于阀座上，以阻挡流体路径。耦接构件耦接在隔膜与可往复运动构件之间，并且构造为当可往复运动构件处于打开位置时将隔膜保持在打开状态。当可往复运动构件处于关闭位置时，耦接构件可相对于可往复运动构件具有间隙。还公开了其他隔膜阀和操作隔膜阀的方法。
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公开(公告)号：CN113544420A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202080019628.X
申请日：2020-02-27
Applicant: 应用材料公司
IPC: F16K31/126 , F16K27/02
Abstract: 隔膜阀包括入口端口、出口端口、及靠近入口端口或出口端口中的一者的阀座。隔膜相对于阀座来定位并且具有打开状态，在打开状态中隔膜与阀座间隔开，以启用在入口端口与出口端口之间的流体路径。隔膜具有关闭状态，在关闭状态中隔膜位于阀座上，以阻挡流体路径。耦接构件耦接在隔膜与可往复运动构件之间，并且构造为当可往复运动构件处于打开位置时将隔膜保持在打开状态。当可往复运动构件处于关闭位置时，耦接构件可相对于可往复运动构件具有间隙。还公开了其他隔膜阀和操作隔膜阀的方法。
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