公开(公告)号：CN117881814A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202280056554.6

申请日：2022-08-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  马里奥·D·西尔韦蒂 ,  凯文·格里芬

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/458

Abstract: 描述了支座组件、用于支座组件的冲洗环、及用于增加边缘冲洗气体在加热的支座组件中的停留时间的处理方法。冲洗环具有限定冲洗环的厚度的内直径面和外直径面、限定冲洗环的高度的顶部表面和底部表面、和热膨胀特征。冲洗环包括延伸穿过厚度并与基板支撑件中的多个在圆周上间隔的冲洗出口在圆周上对齐的多个孔隙。

公开(公告)号：CN112673461B

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN201980059267.9

申请日：2019-09-13

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  H01L21/02

Abstract: 提供了具有输送通道的气体分配装置，该输送通道具有入口端、出口端、及沿着长度隔开的多个孔。该输送通道被分隔物分成多个分区。该多个分区中的每一者均具有入口及出口。

公开(公告)号：CN114981475B

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202080093407.7

申请日：2020-12-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕纳德·拉希德

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 本文提供在处理腔室中使用的喷头的多个实施方式。在一些实施方式中，一种喷头，包括第一螺旋通道，从喷头的中心区域延伸至周围区域；第二螺旋通道，从喷头的中心区域延伸至周围区域，其中第二螺旋通道与第一螺旋通道交错且与第一螺旋通道流体独立；多个第一通道，从第一螺旋通道延伸至在喷头的下部表面上的多个第一气体分配孔，其中每个第一通道是以一个角度延伸的单一通道；和多个第二通道，从第二螺旋通道延伸至在喷头的下部表面上的多个第二气体分配孔，其中每个第二通道是以一个角度延伸的单一通道。

公开(公告)号：CN111587481B

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN201980008203.6

申请日：2019-01-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德 ,  雷雨 ,  阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ,  维卡什·班西埃 ,  维克多·H·卡尔德隆 ,  陶世伟 ,  李永新 ,  阿尼迪塔·森

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/683

Abstract: 于此提供用于处理基板的方法及设备。在一些实施方式中，用于基板支撑件的处理配件包含：上边缘环，所述上边缘环由石英制成且具有上表面及下表面，其中所述上表面实质为平面且所述下表面包含阶梯状下表面以界定所述上边缘环的径向最外部分及径向最内部分。

公开(公告)号：CN110603630B

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN201880028147.8

申请日：2018-07-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德 ,  马里奥·丹·桑切斯 ,  张铀 ,  威廉·W·匡 ,  维诺德·康达·普拉斯 ,  曼朱纳塔·科帕

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及一种快速断接电阻温度检测器(RTD)加热器组件，其包括：第一组件，第一组件包括基座、基座轴杆、适配器、一或多个加热器电源终端及至少一个RTD；及第二组件，第二组件包括旋转模块及缆线组件，旋转模块具有中心开口，缆线组件部分设置在中心开口中并牢固地固定至旋转模块，其中第一组件可拆卸地耦合到第二组件，其中缆线组件包括一或多个电源插座，当第一及第二组件耦合在一起时，电源插座接收加热器电源终端，且其中缆线组件包括一或多个弹簧加载的RTD销，当第一及第二组件耦合在一起时，弹簧加载的RTD销接触到设置在第一组件中的至少一个RTD。

公开(公告)号：CN110603630A

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201880028147.8

申请日：2018-07-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德 ,  马里奥·丹·桑切斯 ,  张铀 ,  威廉·W·匡 ,  维诺德·康达·普拉斯 ,  曼朱纳塔·科帕

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及一种快速断接电阻温度检测器(RTD)加热器组件，其包括：第一组件，第一组件包括基座、基座轴杆、适配器、一或多个加热器电源终端及至少一个RTD；及第二组件，第二组件包括旋转模块及缆线组件，旋转模块具有中心开口，缆线组件部分设置在中心开口中并牢固地固定至旋转模块，其中第一组件可拆卸地耦合到第二组件，其中缆线组件包括一或多个电源插座，当第一及第二组件耦合在一起时，电源插座接收加热器电源终端，且其中缆线组件包括一或多个弹簧加载的RTD销，当第一及第二组件耦合在一起时，弹簧加载的RTD销接触到设置在第一组件中的至少一个RTD。

公开(公告)号：CN119404285A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202380047957.9

申请日：2023-06-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德 ,  雷雨 ,  阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ,  维卡什·班西埃 ,  维克多·H·卡尔德隆 ,  杜诗薇 ,  李雍信 ,  阿尼迪塔·森

IPC: H01J37/32

Abstract: 于此提供用于处理基板的方法及设备。在一些实施例中，用于基板支撑件的处理配件包含：上边缘环，所述上边缘环由石英制成且具有上表面及下表面，其中所述上表面实质为平面且所述下表面包含阶梯状下表面以限定所述上边缘环的径向最外部分及径向最内部分。

公开(公告)号：CN110574149B

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN201880028186.8

申请日：2018-08-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及平衡环组件，该平衡环组件包括平衡环板、枢轴螺丝、一个或多个马达及多个整平指示器，该平衡环板具有中心开口，该枢轴螺丝设置在于该平衡环板中形成的枢轴座内，其中该枢轴螺丝包含球形枢轴头，该平衡环板绕该球形枢轴头枢转，所述一个或多个马达耦接到该平衡环板，所述一个或多个马达被构造成提供绕该球形枢轴头的原位平衡环板运动，该多个整平指示器被构造成确定该平衡环板的偏转。

公开(公告)号：CN116097028A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202180052845.3

申请日：2021-07-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德

IPC: F16K51/02

Abstract: 本文描述的实施方式涉及一种用于半导体处理的阀。该阀包括阀体，该阀体具有由膜片体隔开的入口导管和出口导管。膜片体包括电机、联接至电机的传动联接件、围绕固定板并由动态密封件隔开的能旋转的环、以及通过相应的能枢转的紧固件可移动地联接至能旋转的环的一个或多个闸板，其中该能旋转的环联接至该传动联接件，其中该固定板包括开口并且所述一个或多个闸板相对于该开口是可移动的。

公开(公告)号：CN115516616A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180033050.8

申请日：2021-04-09

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  H01J37/32

Abstract: 描述了气体分配组件和包括气体分配组件的处理腔室。气体分配组件包括气体分配板、盖、和主要O形环。将主要O形环放置于气体分配板的第一接触表面的净化通道和第二接触表面之间。描述了使用公开的气体分配组件密封处理腔室的方法。