公开(公告)号：CN110603630B

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN201880028147.8

申请日：2018-07-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德 ,  马里奥·丹·桑切斯 ,  张铀 ,  威廉·W·匡 ,  维诺德·康达·普拉斯 ,  曼朱纳塔·科帕

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及一种快速断接电阻温度检测器(RTD)加热器组件，其包括：第一组件，第一组件包括基座、基座轴杆、适配器、一或多个加热器电源终端及至少一个RTD；及第二组件，第二组件包括旋转模块及缆线组件，旋转模块具有中心开口，缆线组件部分设置在中心开口中并牢固地固定至旋转模块，其中第一组件可拆卸地耦合到第二组件，其中缆线组件包括一或多个电源插座，当第一及第二组件耦合在一起时，电源插座接收加热器电源终端，且其中缆线组件包括一或多个弹簧加载的RTD销，当第一及第二组件耦合在一起时，弹簧加载的RTD销接触到设置在第一组件中的至少一个RTD。

公开(公告)号：CN110603630A

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201880028147.8

申请日：2018-07-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕默德·M·拉希德 ,  马里奥·丹·桑切斯 ,  张铀 ,  威廉·W·匡 ,  维诺德·康达·普拉斯 ,  曼朱纳塔·科帕

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及一种快速断接电阻温度检测器(RTD)加热器组件，其包括：第一组件，第一组件包括基座、基座轴杆、适配器、一或多个加热器电源终端及至少一个RTD；及第二组件，第二组件包括旋转模块及缆线组件，旋转模块具有中心开口，缆线组件部分设置在中心开口中并牢固地固定至旋转模块，其中第一组件可拆卸地耦合到第二组件，其中缆线组件包括一或多个电源插座，当第一及第二组件耦合在一起时，电源插座接收加热器电源终端，且其中缆线组件包括一或多个弹簧加载的RTD销，当第一及第二组件耦合在一起时，弹簧加载的RTD销接触到设置在第一组件中的至少一个RTD。