公开(公告)号：CN114981475B

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202080093407.7

申请日：2020-12-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕纳德·拉希德

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 本文提供在处理腔室中使用的喷头的多个实施方式。在一些实施方式中，一种喷头，包括第一螺旋通道，从喷头的中心区域延伸至周围区域；第二螺旋通道，从喷头的中心区域延伸至周围区域，其中第二螺旋通道与第一螺旋通道交错且与第一螺旋通道流体独立；多个第一通道，从第一螺旋通道延伸至在喷头的下部表面上的多个第一气体分配孔，其中每个第一通道是以一个角度延伸的单一通道；和多个第二通道，从第二螺旋通道延伸至在喷头的下部表面上的多个第二气体分配孔，其中每个第二通道是以一个角度延伸的单一通道。

公开(公告)号：CN114981475A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202080093407.7

申请日：2020-12-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 穆罕纳德·穆斯塔法 ,  穆罕纳德·拉希德

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 本文提供在处理腔室中使用的喷头的多个实施方式。在一些实施方式中，一种喷头，包括第一螺旋通道，从喷头的中心区域延伸至周围区域；第二螺旋通道，从喷头的中心区域延伸至周围区域，其中第二螺旋通道与第一螺旋通道交错且与第一螺旋通道流体独立；多个第一通道，从第一螺旋通道延伸至在喷头的下部表面上的多个第一气体分配孔，其中每个第一通道是以一个角度延伸的单一通道；和多个第二通道，从第二螺旋通道延伸至在喷头的下部表面上的多个第二气体分配孔，其中每个第二通道是以一个角度延伸的单一通道。