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公开(公告)号：CN118647488A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202380019497.9
申请日：2023-01-06
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 亚西尔·阿拉法特·艾哈迈德 , 尼尔·里克斯 , 詹姆斯·D·斯特拉斯纳 , 王康康
Abstract: 本公开内容的实施方式一般涉及光学装置。更具体地，本文描述的实施方式涉及用于夹持(grip)光学装置的设备与方法。在一个实施方式中，一种用于夹持光学装置的设备包括基部，该基部耦接到从基部的底表面延伸的杆的近端。该设备还包括可移动地耦接到基部的底表面的多个臂。该多个臂耦接到致动器，该致动器可操作以沿着平行于该基部的该底表面的X‑Y平面侧向地移动该多个臂。在一些实施方式中，该设备包括可操作以提供非接触垂直吸力的吸引衬垫。
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公开(公告)号：CN118804812A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202380022965.8
申请日：2023-02-23
Applicant: 应用材料公司
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/60 , B23K26/70
Abstract: 揭露了从光学元件基板切割光学元件的方法。这些方法包括仅在光学元件上方设置保护涂层。该光学元件基板包括设置在光学元件基板的表面上的光学元件，这些光学元件之间有区域。由保护涂层暴露光学元件基板的这些区域。该保护涂层包含聚合物、溶剂和添加剂。该方法进一步包括：经由固化工艺固化保护涂层，使得在通过该固化工艺移除溶剂之后该保护涂层是水溶性的；通过将激光束投射到光学元件之间的区域来从光学元件基板切割光学元件；以及将该保护涂层暴露于水以从经切割的光学元件移除该保护涂层。
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公开(公告)号：CN116783526A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202280010823.5
申请日：2022-01-06
Applicant: 应用材料公司
IPC: G02B6/12
Abstract: 本文所述的实施方式包括具有用光学吸收组成物来涂覆的边缘的波导组合器，及用光学吸收组成物来涂覆波导组合器的边缘的方法。光学吸收组成物包括一个或多个类型的纳米颗粒或微颗粒，一种或多种染料或一种或多种颜料中的至少一者，及一种或多种粘合剂的聚合物基质。所述方法包括产生光学吸收制剂。光学吸收制剂包括一个或多个类型的颗粒，一种或多种染料或一种或多种颜料中的至少一者，一种或多种粘合剂、和一种或多种溶剂。使用边缘致黑工具将光学吸收制剂施加于波导组合器的边缘上。用辐射固化制剂以形成光学吸收组成物。
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公开(公告)号：CN116710377A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202180081944.4
申请日：2021-11-04
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 本杰明·B·里奥尔顿 , 王康康
IPC: B65G47/74
Abstract: 本公开内容的实施方式涉及用于保持光学装置的载体机构。载体机构包括相邻托盘组件，所述相邻托盘组件堆叠而使得多个光学装置透镜被保持在所述相邻托盘组件之间。载体机构通过接触光学装置透镜的角部来保持多个光学装置透镜，而不损坏多个光学装置透镜。使用设置在托盘组件中的多个支撑销和多个捕捉销来保持多个光学装置透镜。每一托盘包括对应于多个光学装置透镜的多个开口，使得流体可接触多个光学装置透镜。载体机构可用于多个光学装置透镜的多个处理方法中。
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公开(公告)号：CN116547223A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180081978.3
申请日：2021-11-01
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 亚西尔·阿拉法特·艾哈迈德 , 王康康 , 本杰明·B·里奥尔顿 , 詹姆斯·D·斯特拉斯纳 , 卢多维克•戈代
IPC: B65G47/91
Abstract: 本文所述的实施方式提供了用于保持光学装置的装置及方法。本文所述的装置及方法提供用于在不接触基板的敏感部分情况下保持基板。这些装置及方法利用保持垫或真空销来接触禁止区，即基板的无源区，以保持基板并防止基板横向移动。此外，保持力在竖直方向上保持基板，而不接触基板。这些方法提供用于调整装置以考虑到基板的多种几何形状。这些方法进一步提供用于调整装置，诸如调整光学装置与抽吸垫之间的间隙，以改变光学装置上的装置的保持力。
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公开(公告)号：CN116547082A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180081936.X
申请日：2021-11-23
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 王康康 , 亚西尔·阿拉法特·艾哈迈德 , 高艺阁 , 本杰明·里奥尔顿 , 拉米·胡拉尼 , 詹姆斯·D·斯特拉斯纳 , 卢多维克·戈代 , 阮廷
IPC: B05C5/02
Abstract: 提供一种光学装置涂布组件。该光学装置涂布组件包括基板支撑件，其可操作以保持光学装置基板。该涂布组件进一步包括连接至基板支撑件的第一致动器。第一致动器被配置为使基板支撑件旋转。该涂布组件包括固持器，其被配置为在光学装置基板在基板支撑件上旋转时将涂层涂覆器固持为抵靠光学装置基板的边缘；及第二致动器，其可操作以在朝向基板支撑件的方向上在该固持器上施加力。第二致动器为恒力致动器。
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