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公开(公告)号：CN118804812A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202380022965.8
申请日：2023-02-23
Applicant: 应用材料公司
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/60 , B23K26/70
Abstract: 揭露了从光学元件基板切割光学元件的方法。这些方法包括仅在光学元件上方设置保护涂层。该光学元件基板包括设置在光学元件基板的表面上的光学元件，这些光学元件之间有区域。由保护涂层暴露光学元件基板的这些区域。该保护涂层包含聚合物、溶剂和添加剂。该方法进一步包括：经由固化工艺固化保护涂层，使得在通过该固化工艺移除溶剂之后该保护涂层是水溶性的；通过将激光束投射到光学元件之间的区域来从光学元件基板切割光学元件；以及将该保护涂层暴露于水以从经切割的光学元件移除该保护涂层。
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公开(公告)号：CN118891548A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202380027999.6
申请日：2023-03-14
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 唐浩 , 罗康 , 徐永安 , 安德鲁·塞巴洛斯 , 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森
IPC: G02B5/18
Abstract: 本公开内容的实施方式涉及使用离散光栅组件和光学互连的方法的光学装置制造。在分离的供体基板上形成对应于光学装置的输入耦合光栅、中间光栅或输出耦合光栅的其中一者的离散光栅。供体基板被切割成单独的光栅并附着到光学装置基板。喷墨材料设置在光栅之间以光学地互连光学装置的部分。
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公开(公告)号：CN117242324A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202280030269.7
申请日：2022-03-11
Applicant: 应用材料公司
IPC: G01J1/38
Abstract: 提供了一种光学器件计量的方法。该方法包括在第一时间段期间将第一类型的光引入第一光学器件，第一光学器件包括光学基板及设置在光学基板上的光学薄膜，第一光学器件进一步包括第一表面、第二表面及连接第一表面与第二表面的一个或多个侧面；及在第一时间段期间，测量在第一时间段期间从第一表面或第二表面上的多个位置透射的第一类型光的量，其中该测量由耦合到一个或多个光纤头的检测器执行，该光纤头经定位以收集从多个位置透射的光。
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公开(公告)号：CN116529642A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202180065290.6
申请日：2021-09-23
Applicant: 应用材料公司
IPC: G02B5/18
Abstract: 本公开内容的多个实施方式一般涉及光学装置。更具体而言，本文所述的多个实施方式涉及光学装置和制造光学装置的方法，光学装置具有有跨基板的表面的改变的深度或折射率中的至少一者的光学装置结构。根据某些实施方式，喷墨处理用于沉积体积可变光学装置，此光学装置经蚀刻以形成衍射光学元件(DOE)。体积可变可与光学装置的厚度或以组合方式沉积的两种或更多种衍射材料的相对体积有关。根据其他多个实施方式，在基板上沉积单一轮廓DOE并且喷墨处理在DOE之上沉积体积可变有机材料。将DOE和有机材料蚀刻以修改结构的轮廓，然后移除有机材料，从而留下经修改轮廓DOE。
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公开(公告)号：CN115989435A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202180051647.5
申请日：2021-06-15
Applicant: 应用材料公司
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种从材料表面向内形成三维特征的方法包括：提供包括出口的液滴分配器，该液滴分配器被构造为分配其中具有反应物的液体材料的离散液滴，该反应物能够与液滴所接触的材料层的部分反应并且由此移除该部分；提供被构造为在其上支撑材料的支撑件，支撑件及液滴分配器相对于彼此是可移动，使得液滴分配器的出口可定位在材料表面的不同离散区域上方；以及将材料表面定位于液滴分配器下方，并且将液滴分配到材料表面的期望区域中的离散部分，以移除期望区域中的材料的至少一部分并且由此从材料表面向内形成三维凹陷。
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