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公开(公告)号：CN117242324A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202280030269.7
申请日：2022-03-11
Applicant: 应用材料公司
IPC: G01J1/38
Abstract: 提供了一种光学器件计量的方法。该方法包括在第一时间段期间将第一类型的光引入第一光学器件，第一光学器件包括光学基板及设置在光学基板上的光学薄膜，第一光学器件进一步包括第一表面、第二表面及连接第一表面与第二表面的一个或多个侧面；及在第一时间段期间，测量在第一时间段期间从第一表面或第二表面上的多个位置透射的第一类型光的量，其中该测量由耦合到一个或多个光纤头的检测器执行，该光纤头经定位以收集从多个位置透射的光。
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