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公开(公告)号：CN116547082A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180081936.X
申请日：2021-11-23
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 王康康 , 亚西尔·阿拉法特·艾哈迈德 , 高艺阁 , 本杰明·里奥尔顿 , 拉米·胡拉尼 , 詹姆斯·D·斯特拉斯纳 , 卢多维克·戈代 , 阮廷
IPC: B05C5/02
Abstract: 提供一种光学装置涂布组件。该光学装置涂布组件包括基板支撑件，其可操作以保持光学装置基板。该涂布组件进一步包括连接至基板支撑件的第一致动器。第一致动器被配置为使基板支撑件旋转。该涂布组件包括固持器，其被配置为在光学装置基板在基板支撑件上旋转时将涂层涂覆器固持为抵靠光学装置基板的边缘；及第二致动器，其可操作以在朝向基板支撑件的方向上在该固持器上施加力。第二致动器为恒力致动器。
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