公开(公告)号：CN107848206A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680039995.X

申请日：2016-06-17

申请人： 应用材料公司

发明人： 比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  埃里克·恩格 ,  奈格·B·帕蒂班德拉 ,  胡·T·额 ,  阿耶·M·乔希 ,  阿莎瓦尼·库马尔 ,  伯纳德·弗雷 ,  卡斯拉曼·克里沙南

IPC分类号： B29C64/153 ,  B29C64/393 ,  B29C64/379 ,  B33Y30/00 ,  B33Y40/00 ,  B33Y50/02 ,  B33Y10/00

CPC分类号： H01J37/3056 ,  B22F2003/247 ,  B22F2998/10 ,  B22F2999/00 ,  B23K10/003 ,  B23K10/006 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0884 ,  B23K26/127 ,  B23K26/352 ,  B23K26/355 ,  B23K26/36 ,  B23K2103/05 ,  B23K2103/14 ,  B23K2103/26 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/52 ,  B25J9/0096 ,  B29C64/188 ,  B29C64/35 ,  B33Y10/00 ,  B33Y40/00 ,  B33Y50/02 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32366 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749 ,  H05H1/2406 ,  H05H1/30 ,  H05H2001/245 ,  H05H2245/123 ,  Y10S901/42 ,  B22F3/008 ,  B22F3/1055 ,  B22F2202/13

摘要： 一种用于表面改性的设备包括：支撑件，用以固持工件；等离子体源，用以在小于所述工件的局部区域中产生等离子体；和六轴机器人，用以操纵所述工件与所述等离子体源的相对定位。所述六轴机器人耦接至所述支撑件和所述等离子体源中的至少一个。

公开(公告)号：CN109585252A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811152060.X

申请日：2014-12-08

申请人： 应用材料公司

发明人： 阿纳塔·K·苏比玛尼 ,  阿希什·戈埃尔 ,  伟·W·王 ,  比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  维贾伊·D·帕克赫 ,  袁晓雄

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

摘要： 一种静电夹盘包括：介电盘，具有支撑基板的支撑表面以及相对的第二表面，其中至少一个夹持电极设置于所述介电盘内；射频(RF)偏压板，设置在所述介电盘下方；多个灯，设置在所述射频偏压板下方以加热所述介电盘；金属板，设置在这些灯下方以吸收由这些灯产生的热；轴杆，在所述轴杆的第一端耦接至所述介电盘的所述第二表面以支撑所述介电盘而使所述介电盘与所述射频偏压板呈间隔开的关系，且所述轴杆延伸离开所述介电盘且延伸穿过所述射频偏压板和所述金属板；以及旋转组件，耦接至所述轴杆以使所述轴杆和所述介电盘相对于所述射频偏压板、灯、以及金属板旋转。

公开(公告)号：CN107810073A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201680039118.2

申请日：2016-06-28

申请人： 应用材料公司

发明人： 比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  埃里克·恩格 ,  奈格·B·帕蒂班德拉 ,  胡·T·额 ,  阿莎瓦尼·库马尔 ,  阿耶·M·乔希 ,  伯纳德·弗雷 ,  卡斯拉曼·克里沙南

IPC分类号： B22F3/105 ,  B33Y30/00

CPC分类号： B22F3/1055 ,  B22F2003/1056 ,  B28B1/001 ,  B29C64/20 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  Y02P10/295

摘要： 一种增材制造系统包括：工作台，具有用于支撑正被制造的物体的顶表面；分配器，用于在所述工作台之上输送前驱物材料的多个连续层；多个灯，用于加热所述工作台且设置在所述工作台的所述顶表面下方；和能源，用于融合所述前驱物材料的最外层的至少一些。

公开(公告)号：CN108352352A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680062275.5

申请日：2016-10-28

申请人： 应用材料公司

发明人： 比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  阿纳塔·K·苏比玛尼

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/203

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792 ,  H01R39/60 ,  H01R39/64

摘要： 本公开内容的实施方式涉及可旋转RF耦合装置和结合此装置的静电夹盘。在某些实施方式中，可旋转RF耦合装置包括导电板；可旋转对分圆柱，所述可旋转对分圆柱配置成耦合至静电夹盘的介电盘，以提供RF功率至布置于介电盘中的一个或多个RF偏压电极；多个RF输入抽头，这些RF输入抽头耦合至导电板，以将RF功率耦合至导电板；静置环，耦合至导电板并且环绕可旋转对分圆柱；和接地护罩，环绕导电板、静置环与可旋转对分圆柱。

公开(公告)号：CN109585252B

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN201811152060.X

申请日：2014-12-08

申请人： 应用材料公司

发明人： 阿纳塔·K·苏比玛尼 ,  阿希什·戈埃尔 ,  伟·W·王 ,  比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  维贾伊·D·帕克赫 ,  袁晓雄

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

摘要： 一种静电夹盘包括：介电盘，具有支撑基板的支撑表面以及相对的第二表面，其中至少一个夹持电极设置于所述介电盘内；射频(RF)偏压板，设置在所述介电盘下方；多个灯，设置在所述射频偏压板下方以加热所述介电盘；金属板，设置在这些灯下方以吸收由这些灯产生的热；轴杆，在所述轴杆的第一端耦接至所述介电盘的所述第二表面以支撑所述介电盘而使所述介电盘与所述射频偏压板呈间隔开的关系，且所述轴杆延伸离开所述介电盘且延伸穿过所述射频偏压板和所述金属板；以及旋转组件，耦接至所述轴杆以使所述轴杆和所述介电盘相对于所述射频偏压板、灯、以及金属板旋转。

公开(公告)号：CN107921710A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680049029.6

申请日：2016-07-15

申请人： 应用材料公司

发明人： 胡·T·额 ,  奈格·B·帕蒂班德拉 ,  阿耶·M·乔希 ,  比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  阿莎瓦尼·库马尔 ,  埃里克·恩格 ,  伯纳德·弗雷 ,  卡斯拉曼·克里沙南

IPC分类号： B29C64/153 ,  B33Y10/00 ,  B33Y70/00

CPC分类号： B22F3/1055 ,  B22F1/0014 ,  B22F1/0059 ,  B22F3/008 ,  B22F2003/1056 ,  B22F2003/1057 ,  B22F2207/13 ,  B22F2998/10 ,  B22F2999/00 ,  B29C64/153 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  Y02P10/295

摘要： 增材制造包括在支撑件上相继形成多个层。从所述多个层沉积一个层包括：分配第一颗粒；在对应于物体表面的选定区域中选择性地分配第二颗粒；以及熔融所述层的至少一部分。所述层在整个层中具有所述第一颗粒并且在所述选定区域中具有所述第二颗粒。替代或另外地，形成所述多个层包括沉积多层组。沉积层组包括，针对所述层组中的每个层，分配供给材料以提供所述层，并且在分配所述供给材料之后和在分配后续层之前熔融所述层的选定部分。在分配所述层组中的所有层之后，熔融所述层组的延伸通过所述层组中的全部层的体积。

公开(公告)号：CN107921707A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680040617.3

申请日：2016-07-15

申请人： 应用材料公司

发明人： 胡·T·额 ,  奈格·B·帕蒂班德拉 ,  阿耶·M·乔希 ,  比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  阿莎瓦尼·库马尔 ,  埃里克·恩格 ,  伯纳德·弗雷 ,  卡斯拉曼·克里沙南

IPC分类号： B29C64/153 ,  B29C35/16 ,  B29C71/02 ,  B33Y40/00

CPC分类号： B22F3/1055 ,  B22F3/008 ,  B22F2003/1056 ,  B22F2201/02 ,  B22F2201/50 ,  B22F2999/00 ,  B23K26/342 ,  B23K26/703 ,  B29C64/153 ,  B29C64/20 ,  B29C64/371 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  Y02P10/295 ,  B22F2203/11 ,  B22F2201/10

摘要： 一种增材制造系统包括具有用于支撑被制造的物体的顶表面的工作台、用于在所述工作台上方输送多个连续的进料层的进料分配器、用于熔融进料的至少一部分最外层的被定位在所述工作台之上的能量源、和用于在已经熔融至少一部分所述最外层之后将冷却剂流体输送至进料的最外层上的冷却剂流体分配器。

公开(公告)号：CN107708970A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680039117.8

申请日：2016-06-17

申请人： 应用材料公司

发明人： 比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  阿耶·M·乔希 ,  奈格·B·帕蒂班德拉 ,  胡·T·额 ,  阿莎瓦尼·塔马尔 ,  埃里克·恩格 ,  伯纳德·弗雷 ,  卡斯拉曼·克里沙南

IPC分类号： B29C64/153 ,  B29C64/20 ,  B29C64/218 ,  B29C64/268 ,  B29C64/336 ,  B29C64/386 ,  B29C64/393 ,  B33Y30/00 ,  B33Y40/00 ,  B33Y50/00 ,  B33Y50/02 ,  B33Y10/00

CPC分类号： B22F3/1055 ,  B22F2003/1057 ,  B23K26/16 ,  B23K26/342 ,  B23K2103/05 ,  B23K2103/08 ,  B23K2103/14 ,  B23K2103/26 ,  B29C64/153 ,  B29C64/245 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  Y02P10/295

摘要： 本文提供了一种增材制造方法，所述增材制造方法包括通过在支撑件上沉积均匀的粉末层然后用表面具有空间上受控的静电荷的辊去除所述层的一部分，或通过将粉末沉积到辊的表面上并且使辊相对于支撑件移动以使辊表面上的空间上可控的静电荷导致粉末的相应部分从辊转移到支撑件上或下面层上，来递送至少一个层。

公开(公告)号：CN108352352B

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN201680062275.5

申请日：2016-10-28

申请人： 应用材料公司

发明人： 比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  阿纳塔·K·苏比玛尼

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/203

摘要： 本公开内容的实施方式涉及可旋转RF耦合装置和结合此装置的静电夹盘。在某些实施方式中，可旋转RF耦合装置包括导电板；可旋转对分圆柱，所述可旋转对分圆柱配置成耦合至静电夹盘的介电盘，以提供RF功率至布置于介电盘中的一个或多个RF偏压电极；多个RF输入抽头，这些RF输入抽头耦合至导电板，以将RF功率耦合至导电板；静置环，耦合至导电板并且环绕可旋转对分圆柱；和接地护罩，环绕导电板、静置环与可旋转对分圆柱。

公开(公告)号：CN105874585B

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201480067593.1

申请日：2014-12-08

申请人： 应用材料公司

发明人： 阿纳塔·K·苏比玛尼 ,  阿希什·戈埃尔 ,  伟·W·王 ,  比哈瑞斯·斯里尼瓦桑 ,  维贾伊·D·帕克赫 ,  袁晓雄

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00 ,  B23Q3/15

摘要： 一种静电夹盘包括：介电盘，具有支撑基板的支撑表面以及相对的第二表面，其中至少一个夹持电极设置于所述介电盘内；射频(RF)偏压板，设置在所述介电盘下方；多个灯，设置在所述射频偏压板下方以加热所述介电盘；金属板，设置在这些灯下方以吸收由这些灯产生的热；轴杆，在所述轴杆的第一端耦接至所述介电盘的所述第二表面以支撑所述介电盘而使所述介电盘与所述射频偏压板呈间隔开的关系，且所述轴杆延伸离开所述介电盘且延伸穿过所述射频偏压板和所述金属板；以及旋转组件，耦接至所述轴杆以使所述轴杆和所述介电盘相对于所述射频偏压板、灯、以及金属板旋转。