公开(公告)号：CN116137236A

公开(公告)日：2023-05-19

申请号：CN202210861573.8

申请日：2022-07-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 李松宰 ,  阿维纳什·谢维加 ,  斯里尼瓦萨·兰加帕 ,  桑达拉潘迪亚·山木甘 ,  埃内斯托·J·乌洛亚 ,  维诺德·拉马钱德朗 ,  亚伯拉罕·帕拉蒂 ,  贾德夫·拉贾拉姆

IPC: H01L21/67

Abstract: 本文描述用于处理基板的设备。更具体地，本文描述的实施方式涉及耦接到群集工具组件的分开的预清洁工艺模块和预清洁控制模块。每个预清洁工艺模块和每个预清洁控制模块由在所述预清洁工艺模块与所述预清洁控制模块之间被配置为使电力电缆和控制电缆从中穿过的电缆导管连接。维护通道穿过所述群集工具组件形成。净化气体源、工艺气体源、测压计、隔离端口和节流阀中的每一者都能从所述预清洁工艺模块的一侧接近。

公开(公告)号：CN115516615A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180032885.1

申请日：2021-07-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿德尔·乔治·塔诺 ,  舒伯特·S·楚 ,  刘树坤 ,  卡蒂克·布彭德拉·仙 ,  朱作明 ,  阿拉·莫拉迪亚 ,  苏拉吉特·库马尔 ,  斯里尼瓦萨·兰加帕 ,  秦嘉政 ,  维希瓦·库马尔·帕迪

IPC: H01L21/67 ,  H05B3/00 ,  H01L21/687 ,  C30B25/10

Abstract: 提供批处理腔室及在批处理腔室中使用的处理配件。处理配件包括外衬垫、内衬垫、及顶板与底板，外衬垫具有上外衬垫与下外衬垫，顶板与底板附接于内衬垫的内表面。顶板与底板和内衬垫一起形成围护件，并且在围护件内设置盒。包括隔板的盒被构造成用以在隔板上保存多个基板。内衬垫具有入口开口与出口开口，入口开口设置在内衬垫的注入侧上并且被构造成用以与处理腔室的气体注入组件流体连通，出口开口设置在内衬垫的排出侧上并且被构造成用以与处理腔室的排气组件流体连通。围护件的内表面包括被构造成用以引起在围护件内的黑体辐射的材料。

公开(公告)号：CN115485822A

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202180032252.0

申请日：2021-07-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 卡蒂克·布彭德拉·仙 ,  舒伯特·S·楚 ,  阿德尔·乔治·塔诺 ,  阿拉·莫拉迪亚 ,  尼欧·O·谬 ,  苏拉吉特·库马尔 ,  朱作明 ,  布赖恩·海斯·伯罗斯 ,  维希瓦·库马尔·帕迪 ,  刘树坤 ,  斯里尼瓦萨·兰加帕

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H05B3/00

Abstract: 一种用于处理腔室中的处理套组，该处理套组包括：外衬套；内衬套，被配置为与处理腔室的气体注入组件及气体排放组件流体连通；第一环形反射器，设置在该外衬套与该内衬套之间；顶板及底板，附接于该内衬套的内表面，该顶板及底板与内衬套一起形成外壳；盒匣，设置在外壳之内，该盒匣包含被配置为在其上保持多个基板的多个搁架；及边缘温度校正元件，设置在该内衬套与第一环形反射器之间。