公开(公告)号：CN119487607A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202380047505.0

申请日：2023-05-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 于杰 ,  郭岳 ,  卡提克·雷马斯瓦米 ,  张涛 ,  沙希德·劳夫 ,  约翰·福斯特 ,  西德哈斯·巴提亚 ,  郑荣刚

IPC: H01J37/32

Abstract: 本文公开的实施例包括一种动态负载仿真器。在实施例中，该动态负载仿真器包括：阻抗负载；反向匹配网络；及智慧RF控制器。在实施例中，该智慧RF控制器包括：动态负载产生器；及反向匹配控制器。

公开(公告)号：CN118435338A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202280084606.0

申请日：2022-11-29

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 张春雷 ,  张涛 ,  帕雅皮利·查伊拉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  H01L21/311 ,  H01L21/3213

Abstract: 一种电子装置制造系统能够获取用位于工艺腔室内的计量设备产生的计量数据，该工艺腔室根据工艺配方对基板执行沉积工艺，其中该工艺配方包含多个设定参数，且其中该沉积工艺在该基板的表面上产生多个膜层。制造系统可基于计量数据进一步产生校正曲线。制造系统可进一步通过对工艺配方应用校正曲线而产生更新后的工艺配方。制造系统可进一步根据更新后的工艺配方对基板执行蚀刻工艺。

公开(公告)号：CN117174564A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202310960792.6

申请日：2021-04-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 张涛 ,  乌彭德拉·V·乌梅塔拉 ,  阿吉特·巴拉克里斯南

IPC: H01J37/32

Abstract: 一种非暂态计算机可读储存介质储存指令，所述指令在由诊断服务器的处理装置执行时使此处理装置执行某些操作。所述操作包括从处理腔室接收(i)组合信号的测量值，所述组合信号基于将交流信号波注入至处理腔室的控制器的第一输出信号上，及(ii)结合来自处理腔室的反馈的控制器的第二输出信号的测量值。所述操作进一步包括基于组合信号的测量值及控制器的第二输出信号的测量值，产生关于处理腔室相关状态的基线波特指纹。所述操作进一步包括在计算机储存器中储存将用于执行处理腔室的诊断的基线波特指纹。

公开(公告)号：CN116671006A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202180085761.X

申请日：2021-12-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 张涛 ,  乌彭铎·乌梅塔拉

IPC: H03H7/38

Abstract: 一种方法包括使生产设备产生RF信号，以激发与生产设备相关的处理腔室。方法进一步包括自与生产设备相关的一个或多个传感器接收与RF信号相关的当前追踪数据。方法进一步包括基于当前追踪数据更新与生产设备相关的数字复制品的阻抗值。方法进一步包括自数字复制品获取表示预测数据的一个或多个输出。方法进一步包括基于预测数据使得执行与生产设备相关的一个或多个校正动作。

公开(公告)号：CN118435137A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202280084013.4

申请日：2022-12-09

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 文卡塔·拉维尚卡·卡西布特拉 ,  张涛 ,  邹晓群 ,  巴拉·夏玛拉·巴拉吉

IPC: G05B23/02 ,  G05B19/418 ,  G06N20/00 ,  H01L21/67

Abstract: 一种方法，包括接收由与基板制造腔室相关联的传感器在制造处理期间产生的第一传感器数据。此方法还包括接收由经训练的基于物理的模型产生的模拟传感器数据。此方法还包括确定所述制造腔室的哪一个或多个部件对所述第一传感器数据与所述模拟传感器数据之间的差异做出贡献。此方法还包括鉴于此差异促使执行校正动作。

公开(公告)号：CN115362527B

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202180026097.1

申请日：2021-04-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 张涛 ,  乌彭德拉·V·乌梅塔拉 ,  阿吉特·巴拉克里斯南

IPC: H01J37/32

Abstract: 一种非暂态计算机可读储存介质储存指令，所述指令在由诊断服务器的处理装置执行时使此处理装置执行某些操作。所述操作包括从处理腔室接收(i)组合信号的测量值，所述组合信号基于将交流信号波注入至处理腔室的控制器的第一输出信号上，及(ii)结合来自处理腔室的反馈的控制器的第二输出信号的测量值。所述操作进一步包括基于组合信号的测量值及控制器的第二输出信号的测量值，产生关于处理腔室相关状态的基线波特指纹。所述操作进一步包括在计算机储存器中储存将用于执行处理腔室的诊断的基线波特指纹。

公开(公告)号：CN115362527A

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202180026097.1

申请日：2021-04-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 张涛 ,  乌彭德拉·V·乌梅塔拉 ,  阿吉特·巴拉克里斯南

IPC: H01J37/32

Abstract: 一种非暂态计算机可读储存介质储存指令，所述指令在由诊断服务器的处理装置执行时使此处理装置执行某些操作。所述操作包括从处理腔室接收(i)组合信号的测量值，所述组合信号基于将交流信号波注入至处理腔室的控制器的第一输出信号上，及(ii)结合来自处理腔室的反馈的控制器的第二输出信号的测量值。所述操作进一步包括基于组合信号的测量值及控制器的第二输出信号的测量值，产生关于处理腔室相关状态的基线波特指纹。所述操作进一步包括在计算机储存器中储存将用于执行处理腔室的诊断的基线波特指纹。

公开(公告)号：CN119234289A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202380041522.3

申请日：2023-04-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 大卫·库莫 ,  王志 ,  张涛 ,  大卫·彼得森

IPC: H01J37/32 ,  H03H7/38

Abstract: 本文公开的实施方式包括用于等离子体处理工具的工艺功率控制器。在一实施方式中，工艺功率控制器包括工艺功率源优化器、源预测器和工艺均匀性控制器。在一实施方式中，源预测器通信耦合到工艺功率源优化器和工艺均匀性控制器。