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公开(公告)号：CN119487607A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202380047505.0
申请日：2023-05-22
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 于杰 , 郭岳 , 卡提克·雷马斯瓦米 , 张涛 , 沙希德·劳夫 , 约翰·福斯特 , 西德哈斯·巴提亚 , 郑荣刚
IPC: H01J37/32
Abstract: 本文公开的实施例包括一种动态负载仿真器。在实施例中，该动态负载仿真器包括：阻抗负载；反向匹配网络；及智慧RF控制器。在实施例中，该智慧RF控制器包括：动态负载产生器；及反向匹配控制器。
