公开(公告)号：CN102160167B

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN200980136614.X

申请日：2009-08-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 史蒂文·V·桑森尼 ,  蔡振雄 ,  夏姆胡·N·罗伊 ,  卡尔·M·布朗 ,  维杰·D·帕克 ,  哈里·K·庞内坎蒂

IPC: H01L21/687 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01J37/32431 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68785 ,  H01L2924/0002 ,  H02N13/00 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的实施方式提供具有成本效益的静电吸盘组件，所述静电吸盘组件能够在超高真空环境中在宽温度范围内操作，同时使静电吸盘组件内部的热机械应力最小化。在一个实施方式中，所述静电吸盘组件包含介电主体，所述介电主体具有夹持电极，所述夹持电极包含金属基质复合材料，所述材料的热膨胀系数(CTE)与所述介电主体的CTE匹配。